Генераторы изображений производятся на базе самых современных технологий и относятся к одному из самых сложных оборудований в фотошаблонном производстве.

Сегодня сканирующие лазерные генераторы сохраняют ведущие позиции в производстве фотошаблонов, так как позволяют получать высокую точность формирования изображения, а также получили новое развитие при непосредственном формировании изображений на полупроводниковых пластинах. Качество генератора определяет не только минимальный элемент топологии, который возможно получить на установке, но и точностные параметры, которые определяют выход годных приборов, и, соответственно, экономику производства.

На генераторах изображений нашего производства возможно производить с высокой точностью как традиционные бинарные фотошаблоны, фотошаблоны с коррекцией оптической близости, так и фазосдвигающие фотошаблоны по технологии двойного маскирования.

ОСНОВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ ГЕНЕРАТОРОВ:

Оригинальный метод формирования эталонных изображений;
Электрооптическая система управления лучом лазера;
Координатный стол на магнитно-воздушной подушке с использованием линейно-шаговых двигателей и лазерных интерферометров.

Для получения более подробной информации по модельному ряду многоканальных лазерных генераторов изображений свяжитесь с нами:

Отдел маркетинга:

Телефон:	+375 17 223 71 28, +375 17 226 09 82
E-mail:	office@planar.by