 |
Зеркала
Широкополосные диэлектрические зеркала
|
| Материал |
BK-7 оптическое стекло тонкого обжига |
|
|
| Допуск диаметра |
12,7-101,6 мм (0,5-4,0 |
+0/-0,13 мм |
|
|
152,4-203,2 мм (6,0-8,0 |
+0/-0,25 мм |
|
| Допуск толщины центра (Tc) |
12,7-101,6 мм (0,5-4,0 |
±0,25 мм |
|
|
152,4-203,2 мм (6,0-8,0 |
±0,38 мм |
|
| Световой диаметр |
> 80% от диаметра |
|
|
| Фаски |
диаметр 12,7 - 25,4 мм (0,5-1,0 |
0,25-0,76 мм под углом 45°± 15° |
|
|
30-101,6 мм (1,181-4,0 |
0,38-1,14 мм под углом 45°±15° |
|
|
152,4-203,2 мм (6,0-8,0 |
0,51-1,52 мм под углом 45°± 15° |
|
| Поверхность S2 |
шлифование |
|
|
| Очистка |
Рекомендуется неабразивный метод, ацетон
или изопропиловый спирт на ткани |
|
|
| Лучевая стойкость |
1000 Вт/см2 CW, 10 mДж/см2 импульсами 10 нсек
в пределах диапазона длины волны |
|
|
|
|
| Диапазон длины волны (нм) |
Отражательная способность (среднее) |
Угол падения |
|
| 488—694 |
Rs, Rp >99% |
0-45° |
|
| 700-950 |
Rs>99%,Rp>98% |
0-45° |
|
| 632,8 |
Rср. >80% |
0-45° |
|
|
Высокомощные эксимерные лазерные зеркала
|
| Материал |
кварцевое стекло УФ – области спектра |
|
| Погрешность поверхности S1 |
λ/10 при 632,8 нм |
|
| Плоскостность поверхности S2 |
λ /10 при 632,8 нм |
|
| Световой диаметр |
> 80% от диаметра |
|
| Качество поверхности |
40 - 20 царапин |
|
| Допуск диаметра |
+0/-0,25 мм |
|
| Допуск толщины |
±0,5 мм |
|
| Клин |
> 3 arc min |
|
| Фаски |
25,4 мм диаметр: 0,25—0,76 мм под углом 45±15º |
|
|
50,8 мм диаметр: 0,38—1,14 мм под углом 45±15º |
|
| Очистка |
Рекомендуется неабразивный метод, ацетон
или изопропиловый спирт на ткани |
|
| Лучевая стойкость |
1 MВтW/см2 CW, 1 длина волны Дж/см2
импульсами 10 нсек по центру |
|
|
|
| Вид лазера |
Рабочая длина волны (нм) |
Угол падения |
Отражательная способность |
|
| ArF |
193 |
0° |
Runpol>98% |
|
| KrF |
248 |
0° |
Rs, Rp>99% |
|
| XeCl |
308 |
0° |
Rs, Rp>99% |
|
| XeF |
351-353 |
0° |
Rs, Rp>99% |
|
| ArF |
193 |
45° |
Runpol>95% |
|
| KrF |
248 |
45° |
Rs, Rp>99% |
|
| XeCl |
308 |
45° |
Rs, Rp>99% |
|
| XeF |
351-353 |
45° |
Rs, Rp>99% |
|
|
Высокомощные Nd:YAG лазерные зеркала
|
| Материал |
кварцевое стекло УФ – области спектра |
|
| Плоскостность поверхности S1 |
λ/10 при 632,8 нм |
|
| Плоскостность поверхности S2 |
λ/10 при 632,8 нм |
|
| Световой диаметр |
> 80% от диаметра |
|
| Качество поверхности |
40 - 20 царапин |
|
| Допуск диаметра |
+0/-0,25 мм |
|
| Допуск толщины |
±0,5 мм |
|
| Клин |
<= 3 arc min |
|
| Фаски |
25,4 мм диаметр: 0,25—0,76 мм под углом 45±15º |
|
|
50,8 мм диаметр: 0,38—1,14 мм под углом 45±15º |
|
| Очистка |
Рекомендуется неабразивный метод, ацетон
или изопропиловый спирт на ткани |
|
| Лучевая стойкость |
1064 нм: 5 MВт/cm2 CW, 5 Дж/cm2 импульсами 0,1-100 нсек |
|
|
532 нм: 2,5 MВт/cm2 CW, 2,5 Дж/cm2 импульсами 0,1-100 нсек |
|
|
354,7 нм: 1 MВт/cm2 CW, 1 Дж/cm2 импульсами 0.1-100 нсек |
|
|
266 нм: 1 MВт/cm2 CW, 1 Дж/cm2 импульсами 0.1-100 нсек |
|
|
|
| Вид лазера |
Длина волны (нм) |
Угол падения |
Отражательная способность |
|
| Nd:YAG (1) |
1064 |
0° |
Rs>99.7%,Rp>99% |
|
| Nd:YAG (2) |
532 |
0° |
Rs>99.7%,Rp>99% |
|
| Nd:YAG (3) |
354.7 |
0° |
Rs>99.7°/o,Rp>99% |
|
| Nd:YAG (4) |
266 |
0° |
Rs>99.7%,Rp>99% |
|
| Nd:YAG (1) |
1064 |
45° |
Rs>99.7%,Rp>99% |
|
| Nd:YAG (2) |
532 |
45° |
Rs>99.7%,Rp>99% |
|
| Nd:YAG (3) |
354.7 |
45° |
Rs>99.7%,Rp>99% |
|
| Nd:YAG (4) |
266 |
45° |
Rs>99.7%,Rp>99% |
|
|
Лазерные широкополосные 45° зеркала
|
| Материал |
BK-7, Класса A оптическое стекло тонкого отжига |
|
| Плоскостность поверхности |
λ/10 при 632,8 нм |
|
| Световой диаметр |
> 80% от диаметра |
|
| Качество поверхности |
40 - 20 царапин |
|
| Допуск диаметра |
+0/-0,25 мм |
|
| Допуск толщины края (Te) |
±0,38 мм |
|
| Клин |
30±15 arc min |
|
| Фаски |
0,5±0,25 мм под углом 45± 15° |
|
| Угол падения |
0-10° |
|
| Покрытие S1 |
Rs>99%, 700-930 нм, Rp>99%, 730-870 нм |
|
| Покрытие S2 |
None |
|
| Очистка |
Рекомендуется неабразивный метод, ацетон или
изопропиловый спирт на ткани |
|
|
Лазерные зеркала излучения накачки высокого отражения
|
| Материал |
BK-7, оптическое стекло тонкого отжига |
|
| Погрешность поверхности S1 |
плоская, λ/10 плоскостность для длины волны 632,8 нм |
|
|
вогнутая, λ/5 неравномерность для длины волны 632,8 нм |
|
| Плоскостность поверхности S2 |
вогнутая, λ/10 для длины волны 632,8 нм |
|
| Световой диаметр |
>= 80% от диаметра |
|
| Качество поверхности |
40 - 20 царапин |
|
| Допуск диаметра |
+0/-0,25 мм |
|
| Допуск толщины края (Te ) |
±0,25 мм |
|
| Клин |
плоское зеркало, 30±15 arc min |
|
| Фаски |
0,5±0,25 мм под углом 45± 15° |
|
| Угол падения |
0-15° |
|
| Покрытие S1 |
Rs,Rp>99%, 710-890 нм, Ts, Tp>95%, 488-532 нм, 0-20° AOI |
|
| Покрытие S2 |
широкополосное, многослойное антиотражающее
покрытие Rср. <0.5%,430-700 нм, 0-15° AOI |
|
| Очистка |
Рекомендуется неабразивный метод, ацетон или
изопропиловый спирт на ткани |
|
|
Лазерные диэлектрические зеркала
|
| Допуск диаметра |
12,7-101,6 мм (0,5-4,0 |
+0/-0,13 мм |
|
|
152,4-203,2 мм (6,0-8,0 |
+0/-0,25 мм |
|
| Допуск толщины центра (Tc) |
12,7-101,6 мм (0,5-4,0 |
±0,25 мм |
|
|
152,4-203,2 мм (6,0-8,0 |
±0,38 мм |
|
| Световой диаметр |
> 80% от диаметра |
|
|
| Фаски |
диаметр 12,7 - 25,4 мм (0,5-1,0 |
0,25-0,76 мм под углом 45°± 15° |
|
|
30-101,6 мм (1,181-4,0 |
0,38-1,14 мм под углом 45°±15° |
|
|
152,4-203,2 мм (6,0-8,0 |
0,51-1,52 мм под углом 45°± 15° |
|
| Поверхность S2 |
шлифование |
|
|
| Очистка |
Рекомендуется неабразивный метод, ацетон
или изопропиловый спирт на ткани |
|
|
| Лучевая стойкость |
λ=325 нм, 500 Вт/cm2 CW, 0.25 Дж/cm2 импульсами
10 нсек для длины волны 325 нм |
|
|
|
λ =1064 нм, 1000 Вт/cm2 CW, 10 Дж/cm2 импульсами
10 нсек в пределах диапазона длины волны |
|
|
|
другое, 1000 Вт/cm2 CW, 0.5 Дж/cm2 импульсами
10 нсек в пределах диапазона длины волны |
|
|
|
|
| Вид лазера |
Рабочая длина
волны (нм) |
Диапазон длины
волны (нм) |
Отражательная
способность |
Угол падения |
|
| HeCd |
325 |
325 |
Rs,Rp>99% |
0-45° |
|
| HeCd |
441.6 |
441.6 |
Rs,Rp>99% |
0-45° |
|
| Argon-Iron |
488—514.5 |
488—514.5 |
Rs,Rp>99% |
0-45° |
|
| HeNe |
632.8 |
632.8 |
Rs,Rp>99% |
0-45° |
|
| Nd:YAG |
1064 |
1030-1090 |
Rs,Rp>99% |
0-45° |
|
| Diode |
1300 |
1290-1350 |
Rs,Rp>99% |
0-45° |
|
| Diode |
1550 |
1520—1580 |
Rs,Rp>99% |
0-45° |
|
|
|
|
