Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Лазерные генераторы изображения

Автоматический контроль фотошаблонов

Контроль фотошаблонов

Лазерное устранение дефектов на шаблонах

Фотоповторители

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Автоматические установки совмещения и экспонирования

Установки совмещения и экспонирования

Контроль полупроводниковых пластин и подложек

Генератор изображений на полупроводниковых пластинах

Широкоформатные степперы

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроскопия

Оптические компоненты
Сферические линзы
Асферические детали
Призмы
Клинья
Плоскопараллельные детали
Растровые компоненты
Моллированные отражатели
Вакуумные столики
Антиотражающие покрытия
Зеркала
Светоделители
Изделия, изготовленные методом фотолитографии

Медицинская техника

Кардиология

Реанимации и интенсивная терапия

Хирургия, травматология

Физиотерапия, неврология

Прессформы, координатные приводы, датчики

Прессформы

Линейные шаговые двигатели

Шаговые двигатели, преобразователи

Зеркала


Широкополосные диэлектрические зеркала

Материал BK-7 оптическое стекло тонкого обжига
Допуск диаметра 12,7-101,6 мм (0,5-4,0 +0/-0,13 мм
152,4-203,2 мм (6,0-8,0 +0/-0,25 мм
Допуск толщины центра (Tc) 12,7-101,6 мм (0,5-4,0 ±0,25 мм
152,4-203,2 мм (6,0-8,0 ±0,38 мм
Световой диаметр > 80% от диаметра
Фаски диаметр 12,7 - 25,4 мм (0,5-1,0 0,25-0,76 мм под углом 45°± 15°
30-101,6 мм (1,181-4,0 0,38-1,14 мм под углом 45°±15°
152,4-203,2 мм (6,0-8,0 0,51-1,52 мм под углом 45°± 15°
Поверхность S2 шлифование
Очистка Рекомендуется неабразивный метод, ацетон
или изопропиловый спирт на ткани
Лучевая стойкость 1000 Вт/см2 CW, 10 mДж/см2 импульсами 10 нсек
в пределах диапазона длины волны
Диапазон длины волны (нм) Отражательная способность (среднее) Угол падения
488—694 Rs, Rp >99% 0-45°
700-950 Rs>99%,Rp>98% 0-45°
632,8 Rср. >80% 0-45°
 
Высокомощные эксимерные лазерные зеркала
Материал кварцевое стекло УФ – области спектра
Погрешность поверхности S1 λ/10 при 632,8 нм
Плоскостность поверхности S2 λ /10 при 632,8 нм
Световой диаметр > 80% от диаметра
Качество поверхности 40 - 20 царапин
Допуск диаметра +0/-0,25 мм
Допуск толщины ±0,5 мм
Клин > 3 arc min
Фаски 25,4 мм диаметр: 0,25—0,76 мм под углом 45±15º
50,8 мм диаметр: 0,38—1,14 мм под углом 45±15º
Очистка Рекомендуется неабразивный метод, ацетон
или изопропиловый спирт на ткани
Лучевая стойкость 1 MВтW/см2 CW, 1 длина волны Дж/см2
импульсами 10 нсек по центру

 

 

Вид лазера Рабочая длина волны (нм) Угол падения Отражательная способность
ArF 193 Runpol>98%
KrF 248 Rs, Rp>99%
XeCl 308 Rs, Rp>99%
XeF 351-353 Rs, Rp>99%
ArF 193 45° Runpol>95%
KrF 248 45° Rs, Rp>99%
XeCl 308 45° Rs, Rp>99%
XeF 351-353 45° Rs, Rp>99%
Высокомощные Nd:YAG лазерные зеркала
Материал кварцевое стекло УФ – области спектра
Плоскостность поверхности S1 λ/10 при 632,8 нм
Плоскостность поверхности S2 λ/10 при 632,8 нм
Световой диаметр > 80% от диаметра
Качество поверхности 40 - 20 царапин
Допуск диаметра +0/-0,25 мм
Допуск толщины ±0,5 мм
Клин <= 3 arc min
Фаски 25,4 мм диаметр: 0,25—0,76 мм под углом 45±15º
50,8 мм диаметр: 0,38—1,14 мм под углом 45±15º
Очистка Рекомендуется неабразивный метод, ацетон
или изопропиловый спирт на ткани
Лучевая стойкость 1064 нм: 5 MВт/cm2 CW, 5 Дж/cm2 импульсами 0,1-100 нсек
532 нм: 2,5 MВт/cm2 CW, 2,5 Дж/cm2 импульсами 0,1-100 нсек
354,7 нм: 1 MВт/cm2 CW, 1 Дж/cm2 импульсами 0.1-100 нсек
266 нм: 1 MВт/cm2 CW, 1 Дж/cm2 импульсами 0.1-100 нсек
 
Вид лазера Длина волны (нм) Угол падения Отражательная способность
Nd:YAG (1) 1064 Rs>99.7%,Rp>99%
Nd:YAG (2) 532 Rs>99.7%,Rp>99%
Nd:YAG (3) 354.7 Rs>99.7°/o,Rp>99%
Nd:YAG (4) 266 Rs>99.7%,Rp>99%
Nd:YAG (1) 1064 45° Rs>99.7%,Rp>99%
Nd:YAG (2) 532 45° Rs>99.7%,Rp>99%
Nd:YAG (3) 354.7 45° Rs>99.7%,Rp>99%
Nd:YAG (4) 266 45° Rs>99.7%,Rp>99%
Лазерные широкополосные 45° зеркала
Материал BK-7, Класса A оптическое стекло тонкого отжига
Плоскостность поверхности λ/10 при 632,8 нм
Световой диаметр > 80% от диаметра
Качество поверхности 40 - 20 царапин
Допуск диаметра +0/-0,25 мм
Допуск толщины края (Te) ±0,38 мм
Клин 30±15 arc min
Фаски 0,5±0,25 мм под углом 45± 15°
Угол падения 0-10°
Покрытие S1 Rs>99%, 700-930 нм, Rp>99%, 730-870 нм
Покрытие S2 None
Очистка Рекомендуется неабразивный метод, ацетон или
изопропиловый спирт на ткани
 
Лазерные зеркала излучения накачки высокого отражения
Материал BK-7, оптическое стекло тонкого отжига
Погрешность поверхности S1 плоская, λ/10 плоскостность для длины волны 632,8 нм
вогнутая, λ/5 неравномерность для длины волны 632,8 нм
Плоскостность поверхности S2 вогнутая, λ/10 для длины волны 632,8 нм
Световой диаметр >= 80% от диаметра
Качество поверхности 40 - 20 царапин
Допуск диаметра +0/-0,25 мм
Допуск толщины края (Te ) ±0,25 мм
Клин плоское зеркало, 30±15 arc min
Фаски 0,5±0,25 мм под углом 45± 15°
Угол падения 0-15°
Покрытие S1 Rs,Rp>99%, 710-890 нм, Ts, Tp>95%, 488-532 нм, 0-20° AOI
Покрытие S2 широкополосное, многослойное антиотражающее
покрытие Rср. <0.5%,430-700 нм, 0-15° AOI
Очистка Рекомендуется неабразивный метод, ацетон или
изопропиловый спирт на ткани
 
Лазерные диэлектрические зеркала
Допуск диаметра 12,7-101,6 мм (0,5-4,0 +0/-0,13 мм
152,4-203,2 мм (6,0-8,0 +0/-0,25 мм
Допуск толщины центра (Tc) 12,7-101,6 мм (0,5-4,0 ±0,25 мм
152,4-203,2 мм (6,0-8,0 ±0,38 мм
Световой диаметр > 80% от диаметра
Фаски диаметр 12,7 - 25,4 мм (0,5-1,0 0,25-0,76 мм под углом 45°± 15°
30-101,6 мм (1,181-4,0 0,38-1,14 мм под углом 45°±15°
152,4-203,2 мм (6,0-8,0 0,51-1,52 мм под углом 45°± 15°
Поверхность S2 шлифование
Очистка Рекомендуется неабразивный метод, ацетон
или изопропиловый спирт на ткани
Лучевая стойкость λ=325 нм, 500 Вт/cm2 CW, 0.25 Дж/cm2 импульсами
10 нсек для длины волны 325 нм
λ =1064 нм, 1000 Вт/cm2 CW, 10 Дж/cm2 импульсами
10 нсек в пределах диапазона длины волны
другое, 1000 Вт/cm2 CW, 0.5 Дж/cm2 импульсами
10 нсек в пределах диапазона длины волны
 
Вид лазера Рабочая длина
волны (нм)
Диапазон длины
волны (нм)
Отражательная
способность
Угол падения
HeCd 325 325 Rs,Rp>99% 0-45°
HeCd 441.6 441.6 Rs,Rp>99% 0-45°
Argon-Iron 488—514.5 488—514.5 Rs,Rp>99% 0-45°
HeNe 632.8 632.8 Rs,Rp>99% 0-45°
Nd:YAG 1064 1030-1090 Rs,Rp>99% 0-45°
Diode 1300 1290-1350 Rs,Rp>99% 0-45°
Diode 1550 1520—1580 Rs,Rp>99% 0-45°

English version
ПЛАНАР
Открытое акционерное общество «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar@solo.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование