Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Лазерные генераторы изображения

Автоматический контроль фотошаблонов

Контроль фотошаблонов

Лазерное устранение дефектов на шаблонах

Фотоповторители

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Автоматические установки совмещения и экспонирования

Установки совмещения и экспонирования

Контроль полупроводниковых пластин и подложек

Генератор изображений на полупроводниковых пластинах

Широкоформатные степперы

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроскопия

Оптические компоненты
Сферические линзы
Асферические детали
Призмы
Клинья
Плоскопараллельные детали
Растровые компоненты
Моллированные отражатели
Вакуумные столики
Антиотражающие покрытия
Зеркала
Светоделители
Изделия, изготовленные методом фотолитографии

Медицинская техника

Кардиология

Реанимации и интенсивная терапия

Хирургия, травматология

Физиотерапия, неврология

Прессформы, координатные приводы, датчики

Прессформы

Линейные шаговые двигатели

Шаговые двигатели, преобразователи

Светоделители


Широкополосные светоделители

Материал BK 7, Класса A оптическое стекло тонкого обжига, кварцевое стекло УФ – области спектра
Плоскостность поверхности характеристики указаны ниже для длины волны 632,8 нм
Световой диаметр 80% от диаметра
Микрошероховатость поверхности 3—6 ERMS, типично
Допуск диаметра +0/-0,13 мм
Допуск толщины ±0.38 мм
Клин 30±15 arc min
Фаски 25,4мм: 0,25—0,76 мм лицевая ширина x45°± 15°
50,8 x 76,2 мм: 0,38—1,14 мм лицевая ширина x45°±15°
Поверхность S1 непокрытая, отражение Френеля от непокрытой подложки
Антиотражающее покрытие, S2 многослойное покрытие, Rср. < 0.75% при 45° сверх указанного диапазона длины волны
Очистка Рекомендуется неабразивный метод, ацетон или изопропиловый спирт на ткани
Лучевая стойкость 500 W/см2 CW, 0.5 J/см2 импульсами 10 нсек
Широкополосные диэлектрические светоделители
Материал BK 7, Класса A оптическое стекло тонкого обжига, кварцевое стекло УФ – области спектра
Плоскостность поверхности характеристики указаны ниже для длины волны 632,8 нм
Световой диаметр > 80% от диаметра
Микрошероховатость поверхности 3—GERMS, типично
Допуск диаметра +0/-0,13 мм
Допуск толщины ±0,38 мм
Клин 30±15 arc min
Фаски 25,4 мм: 0,25—0,76 мм под углом 45°± 15°
50,8 x 76,2 мм: 0,38—1,14 мм под углом 45°± 15°
Покрытие светоделителя, S1 Rs=50±5%, Rp=Rs при 45° сверх указанного диапазона длины волны
Антиотражающее покрытие, S2 многослойное покрытие Rср. < 0.75% при 45° сверх указанного диапазона длины волны
Очистка Рекомендуется неабразивный метод, ацетон или изопропиловый спирт на ткани
Лучевая стойкость 500 W/cm2 CW, 0.5 J/cm2 импульсами 10 нсек
Широкополосный поляризационный светоделитель – куб
Материал SF 2, NSSK Класса оптическое стекло тонкого обжига
Искажение волнового фронта 1/4 при 632,8 нм
Световой диаметр > 80% от диаметра
Качество поверхности 20—10 царапин
Эффективность Тp > 80%, > 90% среднее
Rs > 99.5% среднее
Коэффициент затухания Tp/ Ts > 500:1, 1000:1 среднее
Отклонение проходящего луча < 5 arc min
Отклонение отражённого луча 90°±5arc min
Угол падения 0°±5°
Допуск размеров ±0,25 мм
Антиотражающее покрытие широкополосное многослойное покрытие, Rср.< 1.0% по поверхности
Диапазон температуры от -50°C до +90°C
Ориентация Для избежания повреждения луч должен входить в призму, помеченную точкой
Очистка Рекомендуется неабразивный метод, ацетон или изопропиловый спирт
на ткани. Не помещать в растворитель склеенную оптику.
Лучевая стойкость 2 kW/cm2 CW, 1 J/cm2 импульсами 10 нсек
Плёночный светоделитель
Материал полимерная мембранная плёнка толщиной 5 мкм
Диапазон длины волны 375-2400 мм
Равномерность толщины ±0,06 колец/мм
Диапазон температуры от -40°C до +70°C
Долговечность гигроскопичная плёнка, избегать высокой влажности
Очистка Только осторожно продувать пыль, не дотрагиваться и не
погружать в жидкость мембрану
Лучевая стойкость непокрытая: 2 W/ cm2 CW, 1 J/cm2 импульсами 10 нсек
Высокомощные Nd: YAG Laser поляризационные светоделители – кубы
Материал BK 7, Класса A оптическое стекло тонкого обжига
Искажение волнового фронта < 1/4 при 632,8 нм
Световой диаметр > 80% от диаметра
Качество поверхности 20 - 10 царапин
Эффективность Tp>95%, Rs>99.5%
Коэффициент затухания Tp/Ts > 200:1
Отклонение проходящего луча < 5 arc min
Отклонение отражённого луча 90°±5 arc min
Угол падения 0±5°
Допуск размеров ±0,25 мм
Антиотражающее покрытие многослойное V-покрытие, R < 0.25% по поверхности
Диапазон температуры от -50°C до +90°C
Ориентация луч должен входить в призму, помеченную точкой
Очистка Рекомендуется неабразивный метод, ацетон или
изопропиловый спирт на ткани.
Лучевая стойкость 10 J/cm2 импульсами 10 нсек
Лазерные неполяризационные светоделители
Материал BK 7, Класса A оптическое стекло тонкого обжига
Искажение волнового фронта 1 < 1/10 при 632,8 нм
Световой диаметр 80% от диаметра
Качество поверхности 20 - 10 царапин
Допуск диаметра 25,4+0/-0,13 мм
Толщина 6,1 ±0,38 мм
Клин 30±15 arc min
Передача 50 ±5%, не зависимо от поляризации
Отражение 50 ±5%, не зависимо от поляризации
Поглощение < 0.5%
Угол падения 45° ±3°
Антиотражающее покрытие многослойное покрытие, R < 0.5% по поверхности
Края тонко шлифованные и со снятой фаской
Диапазон температуры от -50°C до +90°C
Очистка Рекомендуется неабразивный метод, ацетон
или изопропиловый спирт на ткани.
Ориентация Луч должен входить в поверхность, помеченную стрелкой
Лучевая стойкость 500 W/cm2 CW, 0.5 I/cm2 импульсами 10 нсек при 10 Hz
Лазерные не поляризационные светоделители - кубы
Материал BK 7, Класса A оптическое стекло тонкого обжига
Искажение волнового фронта ≤ 1/4 при 632,8 нм
Световой диаметр > 80% от диаметра
Качество поверхности 20 - 10 царапин
Передача 50 ±3%, не зависимо от поляризации
Отражение 50 ±3%. не зависимо от поляризации
Отклонение проходящего луча ≤ 5 arc min
Отклонение отражённого луча 90°±15 arc min
Угол падения 0°±2°
Допуск размеров ±0,25 мм
Антиотражающее покрытие многослойное покрытие, R < 0.5% по поверхности
Диапазон температуры от -50°C до +90°C
Ориентация для избежания повреждения луч должен входить в призму, помеченную точкой
Очистка Рекомендуется неабразивный метод, ацетон или изопропиловый спирт
на ткани. Не помещать в растворитель склеенную оптику.
Лучевая стойкость 2 kW/cm2 CW, 1 J/cm2 импульсами 10 нсек

English version
ПЛАНАР
Открытое акционерное общество «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar@solo.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование