Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Лазерные генераторы изображения

Автоматический контроль фотошаблонов

Контроль фотошаблонов

Лазерное устранение дефектов на шаблонах

Фотоповторители

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Автоматические установки совмещения и экспонирования

Установки совмещения и экспонирования

Контроль полупроводниковых пластин и подложек

Генератор изображений на полупроводниковых пластинах

Широкоформатные степперы

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки
ЭМ-250K
ЭМ-247
ЭМ-290
ЭМ-6320

Микроскопия, оптика

Микроскопия

Оптические компоненты

Медицинская техника

Кардиология

Реанимации и интенсивная терапия

Хирургия, травматология

Физиотерапия, неврология

Прессформы, координатные приводы, датчики

Прессформы

Линейные шаговые двигатели

Шаговые двигатели, преобразователи

Установка функциональной подгонки ЭМ-6320



Установка функциональной подгонки предназначена для функциональной подгонки электрических параметров кристаллов интегральных схем на полупроводниковой пластине диаметром до 200 мм. Потребителями оборудования являются предприятия микроэлектроники.

Диаметр обрабатываемой пластины 100, 150, 200 мм
Погрешность позиционирования по координатам X-Y ±0.010 мм
Область подгонки 10х10 мм
Размер пятна лазера 5 мкм
Точность позиционирования лазерного луча 2 мкм
Температура нагрева поверхности стола нагревательного от 50 до 150 ºС
Электропитание и потребляемая мощность 230 В; 50 Гц; 3 кВт
Габаритные размеры 1200х1000х1500 мм
Масса 800 кг
Открыть в PDF
English version
ПЛАНАР
Открытое акционерное общество «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar@solo.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование