Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Генераторы изображений для специальных приложений

Фотоповторители

Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов

Установки контроля микроразмеров и координат топологии фотошаблонов

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии

Широкоформатные степперы

Оборудование для контроля полупроводниковых пластин

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки
ЭМ-250K
ЭМ-247
ЭМ-290
ЭМ-6320

Микроскопия, оптика

Микроэлектроника

Материаловедение

Биология

Медицинская техника

Кардиология

Установка функциональной подгонки ЭМ-6320


Установка функциональной подгонки предназначена для функциональной подгонки электрических параметров кристаллов интегральных схем на полупроводниковой пластине диаметром до 200 мм. Потребителями оборудования являются предприятия микроэлектроники.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Диаметр обрабатываемой пластины 100, 150, 200 мм
Погрешность позиционирования по координатам X-Y ±0.010 мм
Область подгонки 10х10 мм
Размер пятна лазера 5 мкм
Точность позиционирования лазерного луча 2 мкм
Температура нагрева поверхности стола нагревательного от 50 до 150 ºС
Электропитание и потребляемая мощность 230 В; 50 Гц; 3 кВт
Габаритные размеры 1200х1000х1500 мм
Масса 800 кг
Открыть в PDF
English version
ПЛАНАР
Научно-производственный холдинг точного машиностроения «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar_ovep@kbtem.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование