Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Генераторы изображений для специальных приложений

Фотоповторители

Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов

Установки контроля микроразмеров и координат топологии фотошаблонов

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии

Широкоформатные степперы

Оборудование для контроля полупроводниковых пластин

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки
ЭМ-250K
ЭМ-247
ЭМ-290
ЭМ-6320

Микроскопия, оптика

Микроэлектроника

Материаловедение

Биология

Медицинская техника

Кардиология

Установка лазерной обработки ЭМ-250K


Установка лазерной обработки ЭМ-250К предназначена для скрайбирования кремниевых пластин, а также сквозной резки по заданному контуру и сверления отверстий в пластинах алюмокерамики, кремния  и других материалов микроэлектроники и приборостроения. Толщина обрабатываемых пластин - до  2 мм.

В качестве рабочего инструмента в установке используется  Nd:YAG-лазер с акустооптической модуляцией добротности.
Блок питания и охлаждения лазера содержит систему выбора и стабилизации  температуры охлаждающей воды, что позволяет поддерживать высокую стабильность уровня средней мощности лазерного излучения. Наличие блокировок по величине минимального потока охлаждающей воды и ее максимальной температуре позволяет повысить надежность и долговечность лазера.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Тип лазера Nd:YAG, с диодной накачкой
Средняя мощность, Вт 10-25
Поле обработки, мм 150 х 150
Точность, мкм 5
Скорость линейных перемещений, мм/с до 400
Разворот по углу, ° 360
Электропитание и потребляемая мощность 230 В, 50 Гц, 6.5 кВт
Габаритные размеры, мм 1870 х 840 х 1300
Масса, кг 600
Оптико-телевизионная система

TV-канал позволяет получить на экране SVGA монитора «живое» видеоизображение объекта для ориентации заготовки, последующего контроля качества обработки.

Система управления и программного обеспечения

Система управления выполнена на базе PC и обеспечивает следующее:

управление всеми приводами в автоматическом режиме обработки и режиме ориентации;
хранение и автоматический выбор режимов обработки по заданным технологическим параметрам;
редактирование  топологии рисунка обработки в системе AUTOCAD  в виде DXF-файла;
редактирование топологии скрайбирования внутри собственной программы;
проведение контроля средней мощности лазерного излучения с выводом пиктограммы на экран компьютера;
управление R.F. драйвером;
вывод на экран компьютера TV-изображения поверхности пластины при ее ориентации по углу и положению;
вывод на экран компьютера оперативной информации (абсолютные и относительные координаты стола, стадии процесса, подсказки последовательности действий, время обработки, предупреждения о сбойных ситуациях и т.п.);
проведение специальных наладочных операций (нахождение фокуса луча, совмещение его с нулем координатной сетки, масштабирование координатной сетки и т.п.);
создание и хранение библиотеки программ работ, включающих в себя виды работ (сквозная резка, скрайбирование), топологический рисунок и перечень технологических параметров обработки;
диагностику исполнительных механизмов.

English version
ПЛАНАР
Научно-производственный холдинг точного машиностроения «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar_ovep@kbtem.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование