Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Генераторы изображений для специальных приложений

Фотоповторители

Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов

Установки контроля микроразмеров и координат топологии фотошаблонов

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии

Широкоформатные степперы

Оборудование для контроля полупроводниковых пластин

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин
ЭМ-4044

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроэлектроника

Материаловедение

Биология

Медицинская техника

Кардиология

Установка диффузионной сварки пластин ЭМ-4044


Установка ЭМ-4044 предназначена для диффузионной сварки c применением боросиликатного стекла полупроводниковых пластин диаметром 76 мм, 100 мм и 150 мм. Позволяет задавать в широком диапазоне и контролировать основные параметры процесса сварки, благодаря чему создается идеальная среда для соединения изделий.
Основная область применения: изготовление MEMS, светодиодов и 3D сборок.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Соединяемые материалы и их сочетание при сварке: - «кремний-кремний»
- «стекло-стекло»
- «кремний-стекло»
- «пьезоэлектрики-стекло»
- «пьезоэлектрик-пьезоэлектрик»
Диаметр соединяемых пластин 76, 100, 150 мм
Толщина соединяемых пластин - 0.15 мм (для пластин диаметром 76 мм)
- от 0.3 до 1.0 мм (для пластин диаметром 100, 150 мм)
Количество одновременно соединяемых пластин 2 шт
Диапазон регулирования температуры от плюс 50°С до плюс 500°С
Скорость нагрева рабочей зоны до 30 ˚С/мин
Скорость охлаждения рабочей зоны до 14 ˚С/мин
Равномерность температуры в рабочей зоне ±1,5 %
Остаточное давление (вакуум) в рабочей камере 1.3·10^(-3) Па
Максимальное усилие сжатия пластин при сварке 8 кН
Масса установки не более 350 кг
Электропитание, птребляемая мощность 230 В, 50 Гц, не более 6 кВт
Габаритные размеры 1350х850х1600 мм
Открыть в PDF
English version
ПЛАНАР
Научно-производственный холдинг точного машиностроения «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar_ovep@kbtem.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование