Установка присоединения кристаллов ЭМ-4025АМ3

Установка присоединения кристаллов ЭМ-4025АМ3 предназначена для монтажа полупроводниковых кристаллов и компонентов методом эвтектической пайки, монтажа на клей и припой при сборке ИС, многокристальных приборов, ГИС, СВЧ-приборов и других изделий электронной техники.

Установка оснащена 8-инструментальной револьверной головкой, нагреваемым рабочим столом с двумя зонами нагрева, пневмодозатором для нанесения клея. Привод вертикального перемещения по координате Z обеспечивает мягкое касание при монтаже кристаллов из материалов соединений типа AIIIBV.

Кинематическая производительность 2000 крист./час Размер присоединяемы кристаллов от 0.4×0.4 до 10×10 мм Минимальная высота кристаллов 0,1 мм Количество инструментов захвата кристаллов 8 Воспроизводимость позиционирования координатных столов по координатным Х, У 5 мкм Рабочее поле перемещения координатного стола 400×200 мм Диапазон регулирования усилия сжатия соединяемых элементов от 0.8 до 5.0 Н Диапазон регулирования температуры нагрева рабочих зон нагреваемого рабочего столика (отдельно для каждой зоны) от 20 до 450°С Погрешность позиционирования револьверной головки по координате Z в диапазоне перемещения от 0 до 9 мм ± 0.05 мм Погрешность присоединения кристаллов: - по координате Х,Y ± 0.055 мм - по углу ±5° Потребляемая электрическая мощность не более 0.5 кВт Габаритные размеры: Длина 790 мм Ширина 780 мм Высота 500 мм