 |
Установка отмывки полупроводниковых пластин ЭМ-3027А
Установка отмывки полупроводниковых пластин ЭМ-3027А предназначена для мойки струей воды, смешанной с воздухом, и сушки пластин после резки ее на кристаллы.
В установке используется способ струйной гидродинамической очистки, заключающийся в подаче на очищаемую поверх-ность водяной струи, смешанной со сжатым воздухом. Имеются три режима работы установки:
- мойка
- сушка
- автоматический – мойка+сушка
В качестве моющего раствора используется деионизованная вода.
Сушка производится в струе очищенного подогретого сжатого воздуха или инертного газа за счет центробежного эффекта с раскручиванием пластины до 3000 об/мин. В зависимости от режима работы управляющий контроллер выдаёт аналоговое задание скорости вращения центрифуги, а также обеспечивает заданные скорость и ускорение.
Программируемый режим перемещения сопла высокого давления позволяет осуществлять качественную очистку широкого диапазона типоразмеров кристаллов. Движение сопла может проходить по трём разным траекториям – по радиусу, по диаметру и смешанный.
Для исключения аварийных ситуаций и повреждения отмываемых пластин управляющий контроллер отслеживает наличие в системе воды, вакуума и воздуха.
Для отсоса тумана, образующегося при ударе струи высокого давления об очищаемую поверхность, в конструкции установки предусмотрен патрубок, к которому присоединяется цеховой вентиляционный отсос.
Установка выполнена в напольном исполнении со своими амортизаторами.
Технические характеристики
|
| Максимальный диаметр обрабатываемых пластин |
200 мм |
|
| Диапазон задания времени очистки |
от 10 до 150 с |
|
| Диапазон задания времени сушки |
от 10 до 150 с |
|
| Частота вращения центрифуги |
от 500 до 3000 об/мин |
|
| Давление сжатого воздуха |
от 0,5 до 0,6 МПа |
|
| Расход сжатого воздуха, max |
3,0 м3/ч |
|
| Давление деионизованной воды |
от 0,2 до 0,3 МПа |
|
| Расход деионизованной воды, max |
100 л/ч |
|
| Вакуумная магистраль с остаточным давлением |
0,4 МПа |
|
| Электропитание и потребляемая мощность |
230 В, 50 Гц, 0,5 кВт |
|
| Габаритные размеры |
600х500х1250 мм |
|
| Масса, не более |
100 кг |
|
|
|
|
