Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Генераторы изображений для специальных приложений

Фотоповторители

Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов

Установки контроля микроразмеров и координат топологии фотошаблонов

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии

Широкоформатные степперы

Оборудование для контроля полупроводниковых пластин

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы
ЭМ-2048А
ЭМ-2058
ЭМ-2115
ЭМ-2085В
ЭМ-225М
ЭМ-3027А
DAR6
DAR9
DAR10
ДАР9Н

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроэлектроника

Материаловедение

Биология

Медицинская техника

Кардиология

Полуавтомат дисковой резки ЭМ-225М


Полуавтомат дисковой резки ЭМ-225М разработан для сквозного разрезания или надрезания полупроводниковых пластин кремния, арсенида галлия и других материалов на кристаллы прямоугольной формы, разделения стеклянных, ситалловых, поликоровых и других подложек с помощью специального алмазного круга.

Процесс совмещения пластины и проверка качества разделения контролируется оператором с помощью оптико-телевизионной системы. Система автоматизированного управления имеет встроенные функции контроля, самодиагностики механизмов точного позиционирования. Стол предметный позволяет с помощью вакуума закрепить пластину на планшайбе, которая поворачивается в автоматическом или наладочном режимах на 90° с минимальным дискретом поворота 9 угловых секунд. По координате Y шпиндель с абразивным диском вместе с телевизионным микроскопом перемещается на длину до 160 мм с минимальным дискретом 0,01. Накопленная погрешность перемещения по координате Y- 0,02мм.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Диаметр обрабатываемой пластины 76, 100, 150 мм
Скорость продольной подачи стола предметного по координате Х от 0,5 до 100 мм/с
с дискретностью 0,5 мм/с
Программируемое перемещение стола предметного по координате Z до 6 мм
с дискретностью 0,001 мм
Шаговая подача шпинделя по координате Y (0,01 …150) мм
с дискретностью 0,001 мм
Минимальный дискрет привода поворота столика 12 угловых сек
Частота вращения вала электрошпинделя (10 000 – 60 000) об/мин-1
Выходная мощность на валу электрошпинделя 1,2 кВт
Сжатый воздух от 0,5 до 0,6 МПа
Расход сжатого воздуха 10 м3/ч
Вода от 0,20 до 0,3 МПа, 10 л/мин
Питание 230 В, 50 Гц
Максимальная мощность установки 2кВт
Габаритные размеры 1200х1200х1500 мм
Масса 300 кг
* Мощность шпинделя оговаривается в зависимости от назначения установки

English version
ПЛАНАР
Научно-производственный холдинг точного машиностроения «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar_ovep@kbtem.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование