Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Лазерные генераторы изображения

Автоматический контроль фотошаблонов

Контроль фотошаблонов

Лазерное устранение дефектов на шаблонах

Фотоповторители

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Автоматические установки совмещения и экспонирования

Установки совмещения и экспонирования

Контроль полупроводниковых пластин и подложек

Генератор изображений на полупроводниковых пластинах

Широкоформатные степперы

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы
ЭМ-2048А
ЭМ-2058
ЭМ-2115
ЭМ-2085В
ЭМ-225М
ЭМ-3027А
DAR6
DAR9
DAR10
ДАР9Н

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроскопия

Оптические компоненты

Медицинская техника

Кардиология

Реанимации и интенсивная терапия

Хирургия, травматология

Физиотерапия, неврология

Прессформы, координатные приводы, датчики

Прессформы

Линейные шаговые двигатели

Шаговые двигатели, преобразователи

Полуавтомат разделения подложек ЭМ-2115


Полуавтомат разделения подложек ЭМ–2115 предназначен для двухзаходного разделения полупроводниковых пластин и подложек МСТУ на спутниках рамочного типа с наружным диаметром 294 мм и толщиной 1,6мм. Резка подложек и пластин осуществляется специальным микроабразивным инструментом.

Обрабатываемый материал - кремний, арсенид галлия, пьезокварц, ниобат лития, танталат лития, лангасит, лангилат, твердые материалы.

Особенностями полуавтомата является использование двух независимопозиционируемых высокопрецизионных электрошпинделей, обеспечивающих одновременное разделение подложки как двумя разными инструментами, так и двумя одинаковыми.

Полуавтомат снабжен датчиками обратной связи на приводах X, Y и Z, бесконтактной системой для контроля износа лезвия, закрытой зоной обработки. Управление приводами выполнено на современной элементной базе, обеспечивающей большую надежность, компактность, гибкость и долговечность.

Полуавтомат осуществляет диагностику систем управления приводами с выдачей оперативной информации на жидкокристаллический монитор.

При отсутствии заводской вакуумной магистрали, возможно использование вакуумного насоса, входящего в состав полуавтомата.

Для более качественного разделения сверхтвердых материалов и увеличения производительности в полуавтомате предусмотрена возможность многоступенчатого разделения.

Технические характеристики полуавтомата ЭМ-2115:

Диаметр обрабатываемых полупроводниковых пластин, мм 76, 100, 150, 200
Количество установленных электрошпинделей, шт 2
Мощность электрошпинделя, кВт 1,2
Частота вращения вала электрошпинделя, мин-1 от 14000 до 60000
Максимальное перемещение электрошпинделя по координате Y, мм 270
Максимальное перемещение стола предметного по координате Х, мм 320
Максимальное перемещение по координате Z, мм 24
Диапазон регулирования рабочей подачи стола предметного по координате мм/с 0,1-200 с дискретностью 0,1
Диапазон регулирования шаговых перемещений электрошпинделя по координате Y, мм 0,01 - 270 с дексретностью 0,001
Накопленная погрешность шаговых перемещений электрошпинделя по координате Y на длине 210 мм, мм 0,005
Воспроизводимость перемещения электрошпинделя по координате Z на длине 8 мм, мм 0,005
Объемный расход сжатого воздуха (при давлении 0,5Мпа), м3/ч 25
Давление сжатого воздуха, Мпа 0,5-0,6
Вакуум от 0,04 до 0,03 МПа
Габаритные размеры (дхшхв), мм 1200х1050х1700

English version
ПЛАНАР
Открытое акционерное общество «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar@solo.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование