Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Лазерные генераторы изображения

Автоматический контроль фотошаблонов

Контроль фотошаблонов

Лазерное устранение дефектов на шаблонах

Фотоповторители

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Автоматические установки совмещения и экспонирования

Установки совмещения и экспонирования

Контроль полупроводниковых пластин и подложек

Генератор изображений на полупроводниковых пластинах

Широкоформатные степперы

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы
ЭМ-2048А
ЭМ-2058
ЭМ-2115
ЭМ-2085В
ЭМ-225М
ЭМ-3027А
DAR6
DAR9
DAR10
ДАР9Н

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроскопия

Оптические компоненты

Медицинская техника

Кардиология

Реанимации и интенсивная терапия

Хирургия, травматология

Физиотерапия, неврология

Прессформы, координатные приводы, датчики

Прессформы

Линейные шаговые двигатели

Шаговые двигатели, преобразователи

Полуавтомат резки полупроводниковых пластин ЭМ-2085В


Установка резки полупроводниковых пластин ЭМ-2085В предназначена для разделения пластин диаметром до 200 мм в спутниках рамочного типа с наружным диаметром 294 мм и толщиной 1.6 мм.

Особенностями установки является использование высокопрецизионных шариковых направляющих, обеспечивающих высокие точности перемещения и легкость ремонта.

При отсутствии заводской вакуумной магистрали, возможно использование вакуумного насоса, входящего в состав установки.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Диаметр обрабатываемых полупроводниковых пластин, мм 76, 100, 150, 200
Мощность электрошпинделя , кВт 1,2
Частота вращения вала электрошпинделя, мин-1 от 14000 до 60000
Максимальное перемещение электрошпинделя по координате Y, мм 250
Максимальное перемещение стола предметного по координате Х, мм 300
Максимальное перемещение по координате Z, мм 24
Диапазон регулирования рабочей подачи стола предметного по координате Х, мм/с от 0,1 до 400
Диапазон регулирования шаговых перемещений электрошпинделя по координате Y, мм от 0,01 до 250
Накопленная погрешность шаговых перемещений электрошпинделя по координате Y на длине 210 мм, мм 0,004
Воспроизводимость перемещения электрошпинделя по координате Z на длине 8 мм, мм 0,005
Объемный расход сжатого воздуха (при давлении 0,5 Мпа), м3/ч 12
Давление сжатого воздуха, Мпа 0,5-0,6
Вакуум, Мпа от 0,04 до 0,03
Габаритные размеры (д*ш*в) 970*950*1400

English version
ПЛАНАР
Открытое акционерное общество «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar@solo.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование