Полуавтомат резки полупроводниковых пластин ЭМ-2085В

Полуавтомат резки полупроводниковых пластин ЭМ-2085В предназначен для резки полупроводниковых пластин на кристаллы в спутниках-носителях.

Полуавтомат построен в соответствии с традициями общей мировой практики аналогичного класса установок резки пластин на кристаллы в спутниках-носителях, оснащенных одним высокопрецизионным электрошпинделем. Полуавтомат обеспечивает автоматическую резку с ручной ориентацией пластины.

Особенностями полуавтомата является использование высокопрецизионных линейных шариковых направляющих, обеспечивающих высокие точности перемещения и легкость ремонта. Полуавтомат снабжен датчиками обратной связи на приводах X, Y и Z, бесконтактной системой для контроля глубины реза и износа лезвия, расширенной памятью процессора и закрытой зоной обработки. Управление приводами выполнено на современной элементной базе, обеспечивающей большую надежность, компактность, гибкость и долговечность. Полуавтомат осуществляет диагностику систем управления приводами с выдачей оперативной информации на жидкокристаллический монитор.

При отсутствии заводской вакуумной магистрали, возможно использование вакуумного насоса, входящего в состав полуавтомата.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ Максимальный диаметр обрабатываемых пластин 200 мм Максимальная толщина пластин 3 мм Диапазон подачи стола предметного от 0,1 до 600 мм/с Накопленная погрешность шаговых перемещений электрошпинделя по координате Y на длине 210 мм, не более 0.004 мм* Частота вращения вала электрошпинделя от 14000 до 60000 мин-1 Выходная мощность на валу электрошпинделя при частоте вращения вала 60000 мин-1 1200 Вт Очищенная водопроводная вода от 0.2 до 0.3 МПа Сеть слива воды с пропускной способностью 0.12 м3/ч Сжатый воздух 1 класса загрязненности • давление от 0.5 до 0.6 МПа • расход 12 м3/ч Вакуум от 0.04 до 0.03 МПа** Электропитание и потребляемая мощность 230 В, 50 Гц Потребляемая мощность 1.8 кВт Габаритные размеры, не более 970x950x1400 мм Масса, не более 500 кг *- При температуре воздуха в помещении 20-24°С ** - При отсутствии заводской вакуумной магистрали, возможно использование вакуумного насоса, входящего в состав полуавтомата