Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Генераторы изображений для специальных приложений

Фотоповторители

Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов

Установки контроля микроразмеров и координат топологии фотошаблонов

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии

Широкоформатные степперы

Оборудование для контроля полупроводниковых пластин

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы
ЭМ-2048А
ЭМ-2058
ЭМ-2115
ЭМ-2085В
ЭМ-225М
ЭМ-3027А
DAR6
DAR9
DAR10
ДАР9Н

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроэлектроника

Материаловедение

Биология

Медицинская техника

Кардиология

Установка монтажа пластин ЭМ-2048А


Установка монтажа полупроводниковых  пластин ЭМ-2048А предназначена для монтажа пластин на адгезионную пленку с рамкой для выполнения последующих операций сквозного разделения и монтажа кристаллов.

Полуавтоматическая система высоковакуумного монтажа позволяет исключить загрязнение, нанесение царапин и ломку пластин в процессе подготовки к монтажу.

Монтаж пластин в спутники осуществляется путем создания разрежения воздуха высокой степени в двух разделенных пленкой смыкающихся камерах с последующим плавным снижением разрежения в верхней камере. Под воздействием растущей, равномерно распределенной нагрузки пленка, подобно упругой мембране, вытягивается и прижимается сверху адгезионным слоем к тыльной стороне пластины и рамке. При этом исключается какое-либо механическое воздействие на пластину и, следовательно, опасность ее повреждения, что особенно актуально для утоненных пластин, и достигается аккуратный монтаж на рамку без образования воздушных пузырьков между пленкой и пластиной. Переход на монтаж пластины иного диаметра производится с помощью сменной оснастки.

Для монтажа используются металлические рамки, идентичные рамкам фирмы PERFECTION PRODUCTION INC, США.

Наружный и внутренний диаметр рамок, мм:
169 и 130 - для монтажа пластин с диаметром 100мм;
229 и 192 - для 150мм;
281 и 242 - для 200мм;
396 и 344 - для 300мм.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Производительность (из расчета 15-20с., в зависимости от диаметра пластин, на ручную загрузку и выгрузку):
- для диаметра 100мм 60 пластин/час
- для диаметра 150мм 60 пластин/час
- для диаметра 200мм 40 пластин/час
Погрешность ориентации пластины (базируемой по наружному диаметру и лыске) относительно рамки:
а) смещение от центра ±1мм
б) угловая ориентация ±1°30'
Диапазон нагрева рабочей зоны от 40 до 80°С
Погрешность поддержания температуры ±4 °С
Электропитание и потребляемая мощность ~230 В, 50 Гц, 2кВт
Габаритные размеры установки 1000x800x1400 мм
Масса установки 270 кг

English version
ПЛАНАР
Научно-производственный холдинг точного машиностроения «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar_ovep@kbtem.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование