Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Лазерные генераторы изображения

Автоматический контроль фотошаблонов

Контроль фотошаблонов

Лазерное устранение дефектов на шаблонах

Фотоповторители

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Автоматические установки совмещения и экспонирования

Установки совмещения и экспонирования

Контроль полупроводниковых пластин и подложек

Генератор изображений на полупроводниковых пластинах

Широкоформатные степперы

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин
ЭМ-3047
ЭМ-2060
ЭМ-2070
ЭМ-2080
УН-1
УУ-1

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроскопия

Оптические компоненты

Медицинская техника

Кардиология

Реанимации и интенсивная терапия

Хирургия, травматология

Физиотерапия, неврология

Прессформы, координатные приводы, датчики

Прессформы

Линейные шаговые двигатели

Шаговые двигатели, преобразователи

Автомат химического утонения пластин ЭМ-3047


 

Автомат химического утонения пластин ЭМ-3047 предназначен для снятия поверхностных напряжений и нарушенного слоя кремния после механического утонения полупроводниковых пластин с последующей отмывкой и сушкой пластин.

Автомат построен в соответствии с традициями общемировой практики аналогичного класса установок химического утонения пластин.

Система управления автомата позволяет изменять основные параметры работы автомата для каждого из режимов – отдельно для травления, мойки и сушки.

Автомат обеспечивает автоматическую загрузку-выгрузку пластин.

Система пневмогидрооборудования позволяет изменять расход химического реагента, давление воздуха, азота и воды для каждого из режимов. Датчики давления воды, воздуха, азота и вакуума в случае падения давления автоматически останавливают цикл работы.

Параметры травления:
диапазон регулирования времени 10 - 200 сек
диапазон регулирования частоты вращения центрифуги 0 - 400 об/мин
Параметры мойки и сушки:
диапазон регулирования времени 10 - 200 сек
диапазон регулирования частоты вращения центрифуги 500 - 1000 об/мин
Диаметры обрабарываемых пластин 100, 150, 200 мм
Кислотостойкая сеть слива воды с пропускной способностью 0.12 куб.м/ч
Кислотостойкая система вентиляции
Электропитание 220 В, 50 Гц
Габаритные размеры 1750×850×2250 мм

English version
ПЛАНАР
Открытое акционерное общество «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar@solo.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование