Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Генераторы изображений для специальных приложений

Фотоповторители

Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов

Установки контроля микроразмеров и координат топологии фотошаблонов

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии

Широкоформатные степперы

Оборудование для контроля полупроводниковых пластин

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин
ЭМ-3047
ЭМ-2060
ЭМ-2070
ЭМ-2080
УН-1
УУ-1

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроэлектроника

Материаловедение

Биология

Медицинская техника

Кардиология

Автомат химического утонения пластин ЭМ-3047


Автомат химического утонения пластин ЭМ-3047 предназначен для снятия поверхностных напряжений и нарушенного слоя кремния после механического утонения полупроводниковых пластин с последующей отмывкой и сушкой пластин.
Автомат построен в соответствии с традициями общемировой практики аналогичного класса установок химического утонения пластин.
Система управления автомата позволяет изменять основные параметры работы автомата для каждого из режимов – отдельно для травления, мойки и сушки.
Автомат обеспечивает автоматическую загрузку-выгрузку пластин.
Система пневмогидрооборудования позволяет изменять расход химического реагента, давление воздуха, азота и воды для каждого из режимов.
Датчики давления воды, воздуха, азота и вакуума в случае падения давления автоматически останавливают цикл работы.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Параметры травления:
- диапазон регулирования времени 10 - 200 сек
- диапазон регулирования частоты вращения центрифуги 0 - 400 об/мин
Параметры мойки и сушки:
- диапазон регулирования времени 10 - 200 сек
- диапазон регулирования частоты вращения центрифуги 500 - 1000 об/мин
Диаметры обрабарываемых пластин 100, 150, 200 мм
Кислотостойкая сеть слива воды с пропускной способностью 0.12 куб.м/ч
Кислотостойкая система вентиляции
Электропитание 220 В, 50 Гц
Габаритные размеры 1750×850×2250 мм

English version
ПЛАНАР
Научно-производственный холдинг точного машиностроения «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar_ovep@kbtem.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование