Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Лазерные генераторы изображения

Автоматический контроль фотошаблонов

Контроль фотошаблонов

Лазерное устранение дефектов на шаблонах

Фотоповторители

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Автоматические установки совмещения и экспонирования

Установки совмещения и экспонирования

Контроль полупроводниковых пластин и подложек

Генератор изображений на полупроводниковых пластинах

Широкоформатные степперы

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин
ЭМ-3047
ЭМ-2060
ЭМ-2070
ЭМ-2080
УН-1
УУ-1

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроскопия

Оптические компоненты

Медицинская техника

Кардиология

Реанимации и интенсивная терапия

Хирургия, травматология

Физиотерапия, неврология

Прессформы, координатные приводы, датчики

Прессформы

Линейные шаговые двигатели

Шаговые двигатели, преобразователи

Установка прецизионной шлифовки подложек ЭМ-2070


 

Установка прецизионной шлифовки подложек ЭМ-2070 предназначена для шлифования пластин, защищённых с обратной стороны адгезионной плёнкой.

Загрузка/выгрузка пластин осуществляется вручную с помощью захвата Бернулли.

Шлифование осуществляется специальным алмазным инструментом с последующей отмывкой и сушкой обработанной поверхности.

Особенности установки:

-        подача охлаждающей жидкости осуществляется непосредственно через вал электрошпинделя, что позволило уменьшить влияние тепловых изменений размеров на остаточную толщину обработанных пластин;

-        переработана система крепления инструмента, что позволило снизить его торцовое биение и привело к значительному уменьшению глубины нарушенного слоя;

-        на установке реализована технология высокопроизводительного утонения с вращением пластины. Для полноценной реализации технологии установка имеет высокооборотный стол на аэростатических опорах.

Схема утонения с вращением пластины:

1 – инструмент;

2 – подложка

Сравнительные характеристики установок ЭМ-2060, ЭМ-2070, ЭМ-2080

Характеристика установки

ЭМ-2060

ЭМ-2070

ЭМ-2080

1. Краткая характеристика

Двухшпиндельная,
универсальная,
для пластин до Ø 200 мм,
1 пластина в центре стола

Одношпиндельная,
производительная, компактная,
для пластин до Ø 300 мм,
1 пластина в центре стола

Двухшпиндельная,
производительная,
с большим объёмом загрузки,
для пластин до Ø 150 мм,
группа пластин на столе

2. Количество электрошпинделей

2

1

2

3. Номинальная мощность электрошпинделя, кВт

4,2

4,5

3

4. Номинальная частота вращения вала электрошпинделя, об/мин

5000

4500

4500

5. Диаметр инструмента по зубчатому венцу, мм

195

195

195

6. Частота вращения стола предметного, об/мин, не более

120

300

60

7. Тип подшипника упорного в столе предметном

шариковый

аэростатический

аэростатический

8. Дискретность позиционирования по оси Z, мкм

0,1 (стол)

0,08 (инструмент)

0,08 (инструмент)

9. Режим шлифования

поступательный
(инструмент перекрывает
всю пластину - для пластин до Ø 150 мм) ,
с вращением пластины
(инструмент проходит через центр пластины),
комбинированный

с вращением пластины
(инструмент проходит через центр
пластины)

условно поступательный
с вращением
(инструмент перекрывает всю
группу пластин)

10. Тип защиты от столкновений инструмента со столом

программная

аппаратная (регулируемые упоры
и конечники) + программная

аппаратная (регулируемые упоры
и конечники) + программная

11. Диаметр обрабатываемых пластин, мм

100,150,200

100,150,200,
300 - опционально

76,100, 150

12. Количество пластин на столе, шт

1

1

8-76 мм, 6-100 мм, 4-150мм

13. Исходная толщина пластин (пакетов), мм, не более

2

5

5

14. Остаточная толщина обработанных пластин Si, мкм, не менее

100

100
(при инструменте зернистотью
20/10)

75

15. Разнотолщинность обработанной пластины, мкм

3 для Ø 100 мм
4 для Ø 150 мм
5 для Ø 200 мм

3 для Ø 100 мм
4 для Ø 150 мм
5 для Ø 200 мм

3 для Ø 76 мм
4 для Ø 100 мм
6 для Ø 150 мм

16. Разнотолщинность от пластины к пластине, мкм

3 для Ø 100 мм
4 для Ø 150 мм
5 для Ø 200 мм

3 для Ø 100 мм
4 для Ø 150 мм
5 для Ø 200 мм

3 для Ø 76 мм
4 для Ø 100 мм
6 для Ø 150 мм

17. Интенсивность удаления материала, мкм/с, не более

1,5

3

1 - для группы пластин

18. Шероховатость обработанной поверхности, Ra, мкм, не менее

0,035

0,035
(при инструменте зернистостью 6/4)

0,035

19. Загрузка-выгрузка пластин

ручная с помощью захвата
Бернулли,
автоматическая - опционально

ручная с помощью захвата
Бернулли

ручная с помощью захвата
Бернулли

20. Габаритные размеры установки, мм, длина х ширина х высота

2500х1250х1500

1125х1500х2320

2000х2000х2320

21. Масса установки, кг, не более

2500

2000

3200

22. Электрическая мощность, потребляемая установкой, кВт, не более

5

5

4


English version
ПЛАНАР
Открытое акционерное общество «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar@solo.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование