 |
Установка механического утонения пластин ЭМ-2060
Установка механического утонения пластин ЭМ-2060 предназначена для глубокого двухстадийного утонения (шлифования) пластин, защищенных с планарной стороны адгезионным носителем, с последующей отмывкой и сушкой обработанных поверхностей.*
Конструктивно оборудование представляет собой основание с жестко установленным на нем П-образным порталом с двумя электрошпинделями с алмазным инструментом разной зернистости и предметный стол, размещенный на каретке, перемещающейся по аэростатической направляющей. Основание, портал, направляющая и подвижная каретка, выполненные из твердокаменных пород, минимальное торцевое и радиальное биение алмазного инструмента, высокая жесткость системы станок-инструмент, прецизионность предметного стола, наличие виброизолирующих опор – все это позволяет обеспечить высокое качество обработки и высокий процент выхода годных пластин.
Режимы обработки, остаточная толщина задаются программно оператором и отображаются на видеомониторе. Остаточная толщина пластин после обработки контролируется автоматически.
*Для защиты пластин от повреждения при утонении на планарную сторону пластин предварительно приклеивается адгезионная пленка. Эта операция производится на дополнительном оборудовании: Устройство нанесения защиты УН-1 – предназначено для механического нанесения адгезионной пленки на планарную сторону полупроводниковой пластины. Устройство удаления защиты УУ-1 – предназначено для удаления адгезионной пленки с планарной стороны полупроводниковой пластины после операции утонения.
Технические характеристики:
|
| Диаметр обрабатываемых пластин |
100, 150, 200 мм |
|
| Количество шпинделей |
2 |
|
| Номинальная выходная мощность на валу |
4.5 кВт |
|
| Диапазон оборотов шпинделя |
1000 ... 6000 об./мин |
|
| Производительность при съеме удаляемого слоя 100 мкм (без учета времени загрузки/выгрузки пластин, производимых оператором), не менее |
|
|
| для диаметра 100 мм |
50 пластин/час |
|
| для диаметра 150 мм |
40 пластин/час |
|
| для диаметра 200 мм |
12 пластин/час |
|
| Остаточная толщина обрабатываемых пластин |
|
|
| для диаметра 100 мм |
150 мкм |
|
| для диаметра 150 мм |
170 мкм |
|
| для диаметра 200 мм |
260 мкм |
|
| Отклонение толщины от заданного номинала, не более |
|
|
| для диаметра 100 мм |
±3 мкм |
|
| для диаметра 150 мм |
±5 мкм |
|
| для диаметра 200 мм |
±7.5 мкм |
|
| Шероховатость поверхности, не более |
0.1 ... 0.16 мкм |
|
| Шлифовальный круг |
Алмазный, чашечного типа, диаметр 190 мм |
|
| Электропитание и потребляемая мощность |
400 В, 50 Гц, 5.5 кВт |
|
| Габаритные размеры |
1300x2500x1500 мм |
|
| Масса |
2500 кг |
|
|
|
|
