Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Лазерные генераторы изображения

Автоматический контроль фотошаблонов

Контроль фотошаблонов

Лазерное устранение дефектов на шаблонах

Фотоповторители

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Автоматические установки совмещения и экспонирования

Установки совмещения и экспонирования

Контроль полупроводниковых пластин и подложек

Генератор изображений на полупроводниковых пластинах

Широкоформатные степперы

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин
ЭМ-3047
ЭМ-2060
ЭМ-2070
ЭМ-2080
УН-1
УУ-1

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроскопия

Оптические компоненты

Медицинская техника

Кардиология

Реанимации и интенсивная терапия

Хирургия, травматология

Физиотерапия, неврология

Прессформы, координатные приводы, датчики

Прессформы

Линейные шаговые двигатели

Шаговые двигатели, преобразователи

Оборудование утонения полупроводниковых пластин


Установка механического утонения пластин ЭМ-2060 предназначена для глубокого двухстадийного утонения пластин, защищённых с обратной стороны адгезионной плёнкой, с последующей отмывкой и сушкой обработанных пластин.

Установка позволяет обрабатывать кремниевые пластины диаметром до 200 мм,  пластины из материалов группы А3В5, сапфировые подложки, при этом обеспечивая получение минимальной остаточной толщины утоняемых пластин. Конструкция установки обеспечивает надежную защищенность от внешних и внутренних источников вибрации, стабильные геометрические параметры в процессе шлифовки в течение длительного срока эксплуатации.

Система управления установки позволяет оператору просто и быстро перепрограммировать технологические режимы обработки в зависимости от требуемых параметров: остаточной толщины пластины, шероховатости, а также изменять технологические параметры: частоту вращения шпинделя, скорость рабочей подачи, глубину снимаемого слоя, количество проходов, частоту вращения планшайбы предметного стола.

Установка предназначена для работы в автоматическом режиме, при этом загрузка и выгрузка обрабатываемых и обработанных пластин выполняется манипулятором автоматически.

Установка обеспечивает контроль функционирования и диагностику неисправностей основных своих систем. Все системы в блоке управления могут быть протестированы, что позволяет определить неисправный элемент, а модульная конструкция построения блоков управления позволяет быстро устранить неисправность путем замены вышедшего из строя модуля.

 

Особенности установки:

-        подача охлаждающей жидкости осуществляется непосредственно через вал электрошпинделя, что позволило уменьшить влияние тепловых изменений размеров на остаточную толщину обработанных пластин;

-        переработана система крепления инструмента, что позволило снизить его торцовое биение и привело к значительному уменьшению глубины нарушенного слоя;

-        установка позволяет осуществлять как поступательное шлифование, так и шлифование с вращением пластины.

 

Сравнительные характеристики установок ЭМ-2060, ЭМ-2070, ЭМ-2080

Характеристика установки

ЭМ-2060

ЭМ-2070

ЭМ-2080

1. Краткая характеристика

Двухшпиндельная,
универсальная,
для пластин до Ø 200 мм,
1 пластина в центре стола

Одношпиндельная,
производительная, компактная,
для пластин до Ø 300 мм,
1 пластина в центре стола

Двухшпиндельная,
производительная,
с большим объёмом загрузки,
для пластин до Ø 150 мм,
группа пластин на столе

2. Количество электрошпинделей

2

1

2

3. Номинальная мощность электрошпинделя, кВт

4,2

4,5

3

4. Номинальная частота вращения вала электрошпинделя, об/мин

5000

4500

4500

5. Диаметр инструмента по зубчатому венцу, мм

195

195

195

6. Частота вращения стола предметного, об/мин, не более

120

300

60

7. Тип подшипника упорного в столе предметном

шариковый

аэростатический

аэростатический

8. Дискретность позиционирования по оси Z, мкм

0,1 (стол)

0,08 (инструмент)

0,08 (инструмент)

9. Режим шлифования

поступательный
(инструмент перекрывает
всю пластину - для пластин до Ø 150 мм) ,
с вращением пластины
(инструмент проходит через центр пластины),
комбинированный

с вращением пластины
(инструмент проходит через центр
пластины)

условно поступательный
с вращением
(инструмент перекрывает всю
группу пластин)

10. Тип защиты от столкновений инструмента со столом

программная

аппаратная (регулируемые упоры
и конечники) + программная

аппаратная (регулируемые упоры
и конечники) + программная

11. Диаметр обрабатываемых пластин, мм

100,150,200

100,150,200,
300 - опционально

76,100, 150

12. Количество пластин на столе, шт

1

1

8-76 мм, 6-100 мм, 4-150мм

13. Исходная толщина пластин (пакетов), мм, не более

2

5

5

14. Остаточная толщина обработанных пластин Si, мкм, не менее

100

100
(при инструменте зернистотью
20/10)

75

15. Разнотолщинность обработанной пластины, мкм

3 для Ø 100 мм
4 для Ø 150 мм
5 для Ø 200 мм

3 для Ø 100 мм
4 для Ø 150 мм
5 для Ø 200 мм

3 для Ø 76 мм
4 для Ø 100 мм
6 для Ø 150 мм

16. Разнотолщинность от пластины к пластине, мкм

3 для Ø 100 мм
4 для Ø 150 мм
5 для Ø 200 мм

3 для Ø 100 мм
4 для Ø 150 мм
5 для Ø 200 мм

3 для Ø 76 мм
4 для Ø 100 мм
6 для Ø 150 мм

17. Интенсивность удаления материала, мкм/с, не более

1,5

3

1 - для группы пластин

18. Шероховатость обработанной поверхности, Ra, мкм, не менее

0,035

0,035
(при инструменте зернистостью 6/4)

0,035

19. Загрузка-выгрузка пластин

ручная с помощью захвата
Бернулли,
автоматическая - опционально

ручная с помощью захвата
Бернулли

ручная с помощью захвата
Бернулли

20. Габаритные размеры установки, мм, длина х ширина х высота

2500х1250х1500

1125х1500х2320

2000х2000х2320

21. Масса установки, кг, не более

2500

2000

3200

22. Электрическая мощность, потребляемая установкой, кВт, не более

5

5

4


English version
ПЛАНАР
Открытое акционерное общество «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar@solo.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование