Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Лазерные генераторы изображения

Автоматический контроль фотошаблонов

Контроль фотошаблонов

Лазерное устранение дефектов на шаблонах

Фотоповторители

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Автоматические установки совмещения и экспонирования

Установки совмещения и экспонирования

Контроль полупроводниковых пластин и подложек

Генератор изображений на полупроводниковых пластинах

Широкоформатные степперы

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин
ЭМ-3047
ЭМ-2060
ЭМ-2070
ЭМ-2080
УН-1
УУ-1

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроскопия

Оптические компоненты

Медицинская техника

Кардиология

Реанимации и интенсивная терапия

Хирургия, травматология

Физиотерапия, неврология

Прессформы, координатные приводы, датчики

Прессформы

Линейные шаговые двигатели

Шаговые двигатели, преобразователи

Оборудование утонения полупроводниковых пластин


ЭМ-3047


Автомат химического утонения пластин ЭМ-3047 предназначен для снятия поверхностных напряжений и нарушенного слоя кремния после механического утонения полупроводниковых пластин с последующей отмывкой и сушкой пластин.

ЭМ-2060

Установка механического утонения пластин ЭМ-2060 предназначена для механического утонения полупроводниковых пластин со структурами СБИС, защищенных с планарной стороны адгезионным носителем.*

Шлифование осуществляется специальными алмазными инструментами методом двухстадийной шлифовки с последующей отмывкой и сушкой обработанных поверхностей.

Конструктивно оборудование представляет собой основание с жестко установленным на нем П-образным порталом с двумя электрошпинделями с алмазным инструментом разной зернистости и предметный стол, размещенный на каретке, перемещающейся по аэростатической направляющей. Основание, портал, направляющая и подвижная каретка, выполненные из твердокаменных пород, минимальное торцевое и радиальное биение алмазного инструмента, высокая жесткость системы станок-инструмент, прецизионность предметного стола, наличие виброизолирующих опор – все это позволяет обеспечить высокое качество обработки и высокий процент выхода годных пластин.

ЭМ-2070

Установка прецизионной шлифовки подложек ЭМ-2070 предназначена для шлифования пластин, защищенных с обратной стороны адгезионной пленкой.

Загрузка/выгрузка пластин осуществляется вручную с помощью захвата Бернулли.

Шлифование осуществляется специальным алмазным инструментом с последующей отмывкой и сушкой обработанной поверхности.

ЭМ-2080

УУстановка доводочного шлифования и утонения ЭМ-2080 предназначена для доводочного шлифования подложек и утонения прецизионных элементов конструкции МСТУ (далее – пластин).

УН-1

Устройство предназначено для механического нанесения защиты (адгезионной плёнки) на планарную сторону полупроводниковой пластины. Воздушные пузырьки между приклеенной пластиной и адгезионной плёнкой должны отсутствовать.

УУ-1

Устройство предназначено для механического удаления защиты (адгезионной плёнки) с планарной стороны полупроводниковой пластины.
Яндекс.Метрика
English version
ПЛАНАР
Открытое акционерное общество «Планар»
Поиск по сайту
 

© 2003 Планар
e-mail: planar@solo.by

www.rg.by Дизайн и
программирование