Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Генераторы изображений для специальных приложений

Фотоповторители

Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов

Установки контроля микроразмеров и координат топологии фотошаблонов

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии

Широкоформатные степперы

Оборудование для контроля полупроводниковых пластин

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль
ЭМ-6070А
ЭМ-6520
ЭМ-6520-1
ЭМ-6190А
ЭМ-6290
УКФ

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроэлектроника

Материаловедение

Биология

Медицинская техника

Кардиология

Устройство контактное с фиксированным расположением зондов - УКФ


Предназначены для осуществления электрического контакта цепей измерителя с контактными площадками интегральных микросхем и полупроводниковых приборов на пластине в составе зондового оборудования.
Фиксация зондов в соответствии с топологией кристалла заказчика производится компаундом.
Большая плотность размещения зондов и минимальная электрическая емкость позволяет использовать УКФ для контроля функционирования, статических и динамических параметров многовыводных микросхем.
Ресурс работы УКФ достигает 2 млн. контактирований.

Количество зондов до 260 шт.
Материал зондов вольфрам
Тип острия зонда сфера R 0.025 мм
Величина загибки острия 0.2 - 0.5 мм
Разновысотность зондов 0.03 мм
Нагрузка при контактировании 0.06 г/мкм
Минимальный шаг расположения зондов 0.15 мм
Размеры контактных площадок от 0.08х0.08 мм
Размеры кристалла до 21х21 мм
Сопротивление изоляции зондовых цепей относительно друг друга >10^11 ОМ
Электрическая емкость между зондовыми цепями не более 2.0 пФ
Габаритные размеры
диаметр 110 мм
высота 16 мм
Масса 0.186 кг

 

По специальному заказу могут поставляться УКФ, технические характеристики которых определяются требованиями ЗАКАЗЧИКА и могут дополнительно включать:

Количество зондов до 512 шт.
Тип острия зондов cфера R 0.01 - 0.025мм, плоскость
Минимальный шаг расположения зондов 0.09 мм
Размер контактной площадки от 0.06х0.06 мм
Размер кристалла до 40х40мм
Диапазон рабочих температур от -60°С до +150°С

English version
ПЛАНАР
Научно-производственный холдинг точного машиностроения «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar_ovep@kbtem.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование