Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Генераторы изображений для специальных приложений

Фотоповторители

Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов

Установки контроля микроразмеров и координат топологии фотошаблонов

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии

Широкоформатные степперы

Оборудование для контроля полупроводниковых пластин

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль
ЭМ-6070А
ЭМ-6520
ЭМ-6520-1
ЭМ-6190А
ЭМ-6290
УКФ

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроэлектроника

Материаловедение

Биология

Медицинская техника

Кардиология

Установка зондовая ЭМ-6520


Полуавтоматическая установка зондовая ЭМ-6520 предназначена для финишного и межоперационного контроля ИС и СБИС на пластине диаметром до 200мм.

Установка обеспечивает:
● электрический контакт цепей измерителя с контактными площадками кристаллов ИС на пластине;
● обход кристаллов на пластине по традиционной схеме , а также по программируемым относительно базового кристалла точкам;
● маркирование кристаллов краской, в том числе свободных от кристаллов зон по периметру пластины.

Маркирование кристаллов производится как в позиции зондов, так и в позиции, смещенной относительно позиции зондов. Загрузка-выгрузка пластины и ее ориентация осуществляется вручную.

Электронные устройства и программное обеспечение обеспечивают переобучение на другое изделие непосредственно на установке с сохранением параметров в памяти установки для работы в условиях многономенклатурного производства.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Максимальный диаметр обрабатываемых пластин 200 мм
Максимальный размер кристалла 20х20 мм
Погрешность контактирования кристалла на пластине ±10 мкм
Нагрев рабочего столика (планшайбы) до 150° С
Вакуум 0.04-0.03МПа
Электропитание и потребляемая мощность 230 В, 50 Гц, 0.8 КВт
Габаритные размеры, не более 800х700х1600 мм
Масса, не более 300 кг
Открыть в PDF
English version
ПЛАНАР
Научно-производственный холдинг точного машиностроения «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar_ovep@kbtem.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование