Установка зондовая ЭМ-6520

Установка зондовая ЭМ-6520 предназначена для контактирования кристаллов ИС и СБИС на пластине диаметром до 200мм в диапазоне нормальных и повышенных температур и стыковки с измерительными комплексами контроля многовыводных СБИС.

Установка обеспечивает:
● электрический контакт цепей измерителя с контактными площадками кристаллов ИС на пластине;
● обход кристаллов на пластине по традиционной схеме "змейкой подряд", а также по программируемым относительно базового кристалла точкам;
● картографирование результатов контроля пластины по группам годности;
● вывод результатов контроля пластин на дисплей;
● вывод результатов контроля пластин на периферийное устройство;
● маркирование кристаллов краской. Маркирование кристаллов производится как в позиции зондов, так и в позиции, смещенной относительно позиции зондов на расстояние до 50мм.

Загрузка-выгрузка пластины и ее ориентация осуществляется вручную. Электронные устройства и программное обеспечение обеспечивают переобучение на другое изделие непосредственно на установке с сохранением параметров в памяти установки для работы в условиях многономенклатурного производства.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ Максимальный диаметр обрабатываемых пластин 200 мм Максимальный размер кристалла 20х20 мм Время одного цикла контактирования кристалла, не более 0.2 с Погрешность контактирования кристалла на пластине ±10 мкм Нагрев рабочего столика (планшайбы) до 300° С Вакуум 0.04-0.03МПа Электропитание и потребляемая мощность 230 В, 50 Гц, 0.8 КВт Габаритные размеры, не более 800х700х1600 мм Масса, не более 300 кг