 |
Установка зондовая ЭМ-6520-1
Полуавтоматическая установка зондовая ЭМ-6520-1 предназначена для финишного и межоперационного контроля ИС и СБИС на пластине диаметром до 200 мм.
Установка обеспечивает:
● электрический контакт цепей измерителя с контактными площадками кристаллов ИС на пластине;
● обход кристаллов на пластине по традиционной схеме «змейкой подряд», а также по программируемым относительно базового кристалла точкам;
● картографирование результатов контроля пластины по группам годности;
● вывод результатов контроля пластин на дисплей;
● вывод результатов контроля пластин на периферийное устройство;
● маркирование кристаллов краской. Маркирование кристаллов производится как в позиции зондов, так и в позиции, смещенной относительно позиции зондов на расстояние до 50мм.
Загрузка-выгрузка пластины и ее ориентация осуществляется вручную. Электронные устройства и программное обеспечение обеспечивают переобучение на другое изделие непосредственно на установке с сохранением параметров в памяти установки для работы в условиях многономенклатурного производства.
|
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
|
| Максимальный диаметр обрабатываемых пластин |
200мм |
|
| Максимальный размер кристалла |
20х20мм |
|
| Время одного цикла контактирования кристалла, не более |
0.2с |
|
| Погрешность контактирования кристалла на пластине |
±10 мкм |
|
| Вакуум |
0.04-0.03МПа |
|
| Электропитание и потребляемая мощность |
230 В, 50 Гц, 0.5 КВт |
|
| Габаритные размеры, не более |
800х700х1600 мм |
|
| Масса, не более |
250 кг |
|
|
|
|
