Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Генераторы изображений для специальных приложений

Фотоповторители

Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов

Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов

Установки контроля микроразмеров и координат топологии фотошаблонов

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Оборудование для непосредственного генерирования изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование для проекционного переноса изображений на полупроводниковые пластины

Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии

Широкоформатные степперы

Оборудование для контроля полупроводниковых пластин

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль
ЭМ-6070А
ЭМ-6520
ЭМ-6520-1
ЭМ-6190А
ЭМ-6290
УКФ

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроэлектроника

Материаловедение

Биология

Медицинская техника

Кардиология

Автомат зондовый ЭМ-6290


Автомат зондовый ЭМ-6290 нового поколения предназначен для обеспечения контактирования измерительных зондов с контактными площадками интегральных микросхем на полупроводниковых пластинах в автоматическом режиме.

Автомат обеспечивает:
• автоматическую загрузку-выгрузку пластин;
• автоматическое контактирование по заданной программе;
• маркирование кристаллов краской, в том числе свободных от кристаллов зон по периметру пластины;
• вывод результатов контроля на экран монитора.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Погрешность контактирования ± 5 мкм
Максимальный диаметр обрабатываемой платины 200 мм
200 мм
Наличие системы технического зрения, в том числе: есть
- автоматическое распознавание кристаллов есть
- автоматическая ориентация пластины есть
Тип привода ЛШД
Рабочее поле 460x220 мм
Скорость по координате X, max 250 мм/с
Скорость по координате Y, max 200 мм/с
Электропитание и потребляемая мощность 230В, 50Гц, 0.8кВт
Габаритные размеры 1230x1000x1500 мм
Масса 600 кг

English version
ПЛАНАР
Научно-производственный холдинг точного машиностроения «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar_ovep@kbtem.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование