 |
Автомат зондовый ЭМ-6290
Автомат зондовый ЭМ-6290 нового поколения предназначен для обеспечения контактирования измерительных зондов с контактными площадками интегральных микросхем на полупроводниковых пластинах в автоматическом режиме.
Автомат обеспечивает:
• автоматическую загрузку-выгрузку пластин;
• автоматическое контактирование по заданной программе;
• маркирование кристаллов краской, в том числе свободных от кристаллов зон по периметру пластины;
• вывод результатов контроля на экран монитора.
|
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
|
| Погрешность контактирования |
± 5 мкм |
|
| Максимальный диаметр обрабатываемой платины |
200 мм |
|
| 200 мм |
|
|
| Наличие системы технического зрения, в том числе: |
есть |
|
| - автоматическое распознавание кристаллов |
есть |
|
| - автоматическая ориентация пластины |
есть |
|
| Тип привода |
ЛШД |
|
| Рабочее поле |
460x220 мм |
|
| Скорость по координате X, max |
250 мм/с |
|
| Скорость по координате Y, max |
200 мм/с |
|
| Электропитание и потребляемая мощность |
230В, 50Гц, 0.8кВт |
|
| Габаритные размеры |
1230x1000x1500 мм |
|
| Масса |
600 кг |
|
|
|
|
