 |
Автомат зондовый ЭМ-6290

Автомат зондовый ЭМ-6290 нового поколения предназначен для обеспечения контактирования измерительных зондов с контактными площадками интегральных микросхем на полупроводниковых пластинах в автоматическом режиме.
Автомат обеспечивает: • автоматическую загрузку-выгрузку пластин; • автоматическое контактирование по заданной программе; • маркирование кристаллов краской, в том числе свободных от кристаллов зон по периметру пластины; • вывод результатов контроля на экран монитора.
 |
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
 |
Погрешность контактирования |
± 5 мкм |
 |
Максимальный диаметр обрабатываемой платины |
200 мм |
 |
200 мм |
|
 |
Наличие системы технического зрения, в том числе: |
есть |
 |
- автоматическое распознавание кристаллов |
есть |
 |
- автоматическая ориентация пластины |
есть |
 |
Тип привода |
ЛШД |
 |
Рабочее поле |
460x220 мм |
 |
Скорость по координате X, max |
250 мм/с |
 |
Скорость по координате Y, max |
200 мм/с |
 |
Электропитание и потребляемая мощность |
230В, 50Гц, 0.8кВт |
 |
Габаритные размеры |
1230x1000x1500 мм |
 |
Масса |
600 кг |
|
 |

|
 |