Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Лазерные генераторы изображения

Автоматический контроль фотошаблонов

Контроль фотошаблонов

Лазерное устранение дефектов на шаблонах

Фотоповторители

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Автоматические установки совмещения и экспонирования

Установки совмещения и экспонирования

Контроль полупроводниковых пластин и подложек

Генератор изображений на полупроводниковых пластинах

Широкоформатные степперы

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль
ЭМ-6070А
ЭМ-6520
ЭМ-6520-1
ЭМ-6190А
ЭМ-6290
УКФ

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроскопия

Оптические компоненты

Медицинская техника

Кардиология

Реанимации и интенсивная терапия

Хирургия, травматология

Физиотерапия, неврология

Прессформы, координатные приводы, датчики

Прессформы

Линейные шаговые двигатели

Шаговые двигатели, преобразователи

Установка зондовая ЭМ-6190А


Установка зондовая ЭМ-6190А предназначена для финишного и межоперационнго контроля ИС и СБИС на пластине диаметром до 200 мм.

Установка обеспечивает:

• автоматическое контактирование по заданной программе;
• маркирование кристаллов краской, в том числе свободных от кристаллов зон по периметру пластины;
• выод результатов контроля (количество кристаллов, количество годных кристаллов) на экрон монитора.

Загрузка-выгрузка пластин вручную.
Установка может быть дооснащена загрузочным устройством.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Погрешность контактирования ± 10 мкм
Погрешность контактирования с системой технического зрения ± 5 мкм
Максимальный диаметр обрабатываемой пластины 200 мм
Тип привода ЛШД
Рабочее поле 460x220 мм
Максимальная скорость по координате X 250 мм/с
Максимальная скорость по координате Y 200 мм/с
Воздух 0.5 – 0.6 МПа
Электропитание 230 В, 50 Гц
Габаритные размеры 800x800x1500 мм
Масса 500 кг

English version
ПЛАНАР
Открытое акционерное общество «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar@solo.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование