Установка зондовая ЭМ-6190А

Установка зондовая ЭМ-6190А предназначена для осуществления электрического контакта цепей измерителя с контактными площадками кристаллов интегральных микросхем на полупроводниковых пластинах.

Установка обеспечивает:
• автоматическое контактирование по заданной программе;
• картографирование результатов контроля пластины по группам годности;
• вывод результатов контроля пластин на дисплей;
• вывод результатов контроля пластин на периферийное устройство;
• маркирование кристаллов краской.

Установка может быть дооснащена загрузочным устройством.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ Максимальный диаметр обрабатываемой платины 200 мм Погрешность контактирования ± 8 мкм Тип привода ЛШД Рабочее поле 460x220 мм Максимальная скорость по координате X 250 мм/с Максимальная скорость по координате Y 250 мм/с Максимальное ускорение по координате X 1.0 g Максимальное ускорение по координате Y 0.8 g Дискретность 0.5 мкм Воздух 0.5 – 0.6 МПа Электропитание 230 В, 50 Гц Габаритные размеры 800x800x1500 мм Масса 500 кг