 |
Установка субмикронного зондирования ЭМ-6070А

Установка субмикронного зондирования ЭМ-6070А предназначена для осуществления электрического контакта цепей измерителя с элементами топологии ИС и металлизированными шинами микронных и субмикронных размеров, для визуального наблюдения структур, а также для локализации отдельных элементов топологии во время диагностических исследований состояния внутренних блоков ИС в диапазоне нормальных и повышенных температур. Предусмотрена возможность установки нагревателя полупроводниковых пластин для проведения исследований при повышенных температурах. Использование ультразвукового резака позволяет локализовать отдельный элемент топологии путем перерезания металлизированных шин.
 |
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
 |
Диаметр полупроводниковой пластины |
до 200 мм |
 |
Размер кристалла |
(0,4 х 0,4) … (20 x 20) мм |
 |
Размер контактируемого элемента, не менее |
0.8 мкм |
 |
Перемещение микроманипулятора по координатам X, Y, Z |
10 мм |
 |
Чувствительность микроманипулятора |
250 мкм/оборот |
 |
Чувствительность тонкой настройки |
20 мкм/оборот |
 |
Перемещение при тонкой настройке |
200 мкм |
 |
Крепление микроманипулятора к платформе |
постоянный магнит |
 |
Температура нагрева стола для п/п пластин |
50 ... 150 °С |
 |
Увеличение микроскопа |
20x … 2000x |
 |
Электропитание установки |
~220 В, 50 Гц |
 |
Потребляемая мощность, не более |
0,8 кВт |
 |
Вакуум с остаточным давлением |
0,04 МПа |
|
 |

|
 |