 |
Установка субмикронного зондирования ЭМ-6070А
Установка субмикронного зондирования ЭМ-6070А предназначена для осуществления электрического контакта цепей измерителя с элементами топологии ИС и металлизированными шинами микронных и субмикронных размеров, для визуального наблюдения структур, а также для локализации отдельных элементов топологии во время диагностических исследований состояния внутренних блоков ИС в диапазоне нормальных и повышенных температур.
Предусмотрена возможность установки нагревателя полупроводниковых пластин для проведения исследований при повышенных температурах.
Использование ультразвукового резака позволяет локализовать отдельный элемент топологии путем перерезания металлизированных шин.
|
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
|
| Диаметр полупроводниковой пластины |
до 200 мм |
|
| Размер кристалла |
(0,4 х 0,4) … (20 x 20) мм |
|
| Размер контактируемого элемента, не менее |
0.8 мкм |
|
| Перемещение микроманипулятора по координатам X, Y, Z |
10 мм |
|
| Чувствительность микроманипулятора |
250 мкм/оборот |
|
| Чувствительность тонкой настройки |
20 мкм/оборот |
|
| Перемещение при тонкой настройке |
200 мкм |
|
| Крепление микроманипулятора к платформе |
постоянный магнит |
|
| Температура нагрева стола для п/п пластин |
50 ... 150 °С |
|
| Увеличение микроскопа |
20x … 2000x |
|
| Электропитание установки |
~220 В, 50 Гц |
|
| Потребляемая мощность, не более |
0,8 кВт |
|
| Вакуум с остаточным давлением |
0,04 МПа |
|
|
|
|
