Аналитическая субмикронная установка зондового контроля ЭМ-6070А предназначена для осуществления электрического контакта цепей измерителя с элементами топологии ИС и металлизированными шинами микронных и субмикронных размеров, для визуального наблюдения структур, а также для локализации отдельных элементов топологии во время диагностических исследований состояния внутренних блоков ИС в диапазоне нормальных и повышенных температур. Установка ЭМ-6070А настольного исполнения. Предусмотрена возможность установки нагревателя полупроводниковых пластин для проведения исследований при повышенных температурах. Использование ультразвукового резака позволяет локализовать отдельный элемент топологии путем перерезания металлизированных шин.
Установка зондовая ЭМ-6520 предназначена для контактирования кристаллов ИС и СБИС на пластине диаметром до 200мм в диапазоне нормальных и повышенных температур и стыковки с измерительными комплексами контроля многовыводных СБИС. Установка обеспечивает: - электрический контакт цепей измерителя с контактными площадками кристаллов ИС на пластине; - обход кристаллов на пластине по традиционной схеме "змейкой подряд", а также по программируемым относительно базового кристалла точкам; - картографирование результатов контроля пластины по группам годности; - вывод результатов контроля пластин на дисплей; - вывод результатов контроля пластин на периферийное устройство; - маркирование кристаллов краской. Маркирование кристаллов производится как в позиции зондов, так и в позиции, смещенной относительно позиции зондов на расстояние до 50мм. Загрузка-выгрузка пластины и ее ориентация осуществляется вручную. Электронные устройства и программное обеспечение обеспечивают переобучение на другое изделие непосредственно на установке с сохранением параметров в памяти установки для работы в условиях многономенклатурного производства.
Полуавтоматическая установка зондовая ЭМ-6520-1 предназначена для финишного и межоперационного контроля ИС и СБИС на пластине диаметром до 200 мм. Установка обеспечивает: - электрический контакт цепей измерителя с контактными площадками кристаллов ИС на пластине; - обход кристаллов на пластине по традиционной схеме «змейкой подряд», а также по программируемым относительно базового кристалла точкам; - картографирование результатов контроля пластины по группам годности; - вывод результатов контроля пластин на дисплей; - вывод результатов контроля пластин на периферийное устройство; - маркирование кристаллов краской. Маркирование кристаллов производится как в позиции зондов, так и в позиции, смещенной относительно позиции зондов на расстояние до 50мм. Загрузка-выгрузка пластины и ее ориентация осуществляется вручную. Электронные устройства и программное обеспечение обеспечивают переобучение на другое изделие непосредственно на установке с сохранением параметров в памяти установки для работы в условиях многономенклатурного производства.
Установка зондовая ЭМ-6190А предназначена для осуществления электрического контакта цепей измерителя с контактными площадками кристаллов интегральных микросхем на полупроводниковых пластинах. Установка обеспечивает: • автоматическое контактирование по заданной программе; • картографирование результатов контроля пластины по группам годности; • вывод результатов контроля пластин на дисплей; • вывод результатов контроля пластин на периферийное устройство; • маркирование кристаллов краской. Установка может быть дооснащена загрузочным устройством.
Автомат зондовый ЭМ-6290 нового поколения предназначен для обеспечения контактирования измерительных зондов с контактными площадками интегральных микросхем в автоматическом режиме. Автомат обеспечивает: • автоматическую загрузку-выгрузку пластин; • автоматическое контактирование по заданной программе; • маркирование кристаллов краской, в том числе свободных от кристаллов зон по периметру пластины; • вывод результатов контроля (количество кристаллов, количество годных кристаллов) на экран монитора; • вывод карты годных кристаллов.
