Степпер ЭM-5434M предназначен для выполнения технологической операции литографии в производстве печатных плат (IC Substrate) для технологии сборки микросхем методом Flip Chip (BGA/CSP).
Работа установки основана на принципе проекционного (бесконтактного) переноса рисунка с рецикла на пластину, покрытую слоем фоторезиста и мультипликацией его по всей площади пластины.
 |
|
 |
|
|||||||||||||||
|
|
|
 |
English version |
 |
|||||||
|
|||||||
Государственное научно-производственное объединение точного машиностроения «Планар» |
|||||||
|
|
© 2003 Планар
e-mail: planar@solo.by |
|
|
|||
|
