 |
Лазерное устранение дефектов на шаблонах
Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов предназначены для ремонта фотошаблонов, имеющих прозрачные и непрозрачные дефекты, и, имеющих различные типы маскирующих покрытий. Для ремонта непрозрачных дефектов используется контурно-проекционный метод формирования оптического изображения. Для ремонта прозрачных дефектов используется метод лазерностимулированного осаждения металлоорганического соединения. Выход в зону дефекта осуществляется автоматически на основе файлов дефектов.
Модельный ряд установок лазерного устранения дефектов оригиналов топологии на фотошаблонах, разработанных и освоенных на предприятии, представлен в таблице.
| Выпуск с 2009г. |
6 поколение: уровень технологии 90 нм |
ЭМ-5131 Rmin=200 нм |
| Выпуск с 2007г. |
5 поколение: LCD (поле 900х600 нм) |
ЭМ-5201 Rmin=500 нм |
| Выпуск с 2001г. |
4 поколение: уровень технологии 350 нм |
ЭМ-5001Б Rmin=500 нм |
| Выпуск с 1995г. |
3 поколение: уровень технологии 800 нм |
ЭМ-5001АМ Rmin=1.1 мкм |
| Выпуск с 1990г. |
2 поколение: уровень технологии 1.5 мкм |
ЭМ-5001А Rmin=1.5 мкм |
| Выпуск с 1990г. |
1 поколение: уровень технологии 2.0 мкм |
ЭМ-551Б Rmin=2.0 мкм |
|
|
|
Установка предназначена для ремонта фотошаблонов, имеющих как прозрачные, так и непрозрачные дефекты: островки, проколы, выступы, вырывы, перемычки между элементами, разрывы элементов, скругления углов, уходы размеров и т. д.
Ретушь дефектов осуществляется посредством лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения из газообразной фазы. В качестве источника излучения используется непрерывный аргоновый лазер.
Непрозрачные дефекты устраняются путем испарения остатков хрома при помощи импульсного лазера |
|
|
|
|
Установка предназначена для ремонта фотошаблонов, имеющих как прозрачные, так и непрозрачные дефекты: островки, проколы, выступы, вырывы, перемычки между элементами, разрывы элементов, скругления углов, уходы размеров и т. д.
Ретушь дефектов осуществляется посредством лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения из газообразной фазы. В качестве источника излучения используется непрерывный твердотельный лазер.
Непрозрачные дефекты устраняются путем испарения остатков хрома при помощи импульсного фемтосекундного лазера. |
|
|
|
