Установки совмещения и экспонирования

Установки серии ЭМ-5026х предназначены для совмещения изображения на фотошаблоне и полупроводниковой пластине и последующего переноса этого изображения с шаблона на пластину контактным (на зазоре) экспонированием фоторезистивного слоя пластины при реализации фотолитографических процессов в производстве интегральных схем и полупроводниковых приборов.

Основные особенности установок этой серии:
• специальная система компенсации клина и разнотолщинности пластин;
• специальный трех координатный (Х, Y, Θ) манипулятор п/п пластин с двумя ступенями (грубого и тонкого) совмещения высокой точности и чувствительности;
• возможность работать с пластинами из хрупких материалов, например, из арсенида галия (GaAs) и ниобата лития толщиной 0,2 … 0,8 мм, и подложек прямоугольной формы;
• встроенная система защиты от вибрации.

		ЭМ-5026АM Установка ЭМ-5026АМ предназначена для совмещения изображений на фотошаблоне и полупроводниковой пластине и переноса изображения с фотошаблона на пластину контактным (на зазоре) экспонированием фоторезистивного слоя пластины. Установка ЭМ-5026АМ имеет автоматические системы: загрузки полупроводниковых пластин из кассеты, центрирования и ориентации по базовому срезу, предварительной точной ориентации загрузки пластины на рабочий столик, компенсации клина и разнотолщинности пластин и выхода на заданный оператором зазор совмещения, экспонирования фоторезистивного слоя на пластине и выгрузки в другую кассету.

		ЭМ-5026Б Установка ЭМ–5026Б выполняет контактным (на зазоре) способом экспонирование верхней стороны полупроводниковой пластины или подложки, совмещая изображение на фотошаблоне с изображением на нижней (обратной) стороне пластины или подложки. При этом дополнительно возможна оценка точности совмещения знаков и изображений (топологий) на двух сторонах пластины или подложки.

		ЭМ-5026М Ручная установка совмещения и экспонирования предназначена для совмещения изображений на фотошаблоне и полупроводниковой пластине и переноса изображения с фотошаблона на пластину