Карта сайта

Контакт

Обратная связь

Полезные ссылки

Оборудование для формирования топологических структур на фотошаблонах

Многоканальные лазерные генераторы изображений

ЭМ-5189

ЭМ-5289

ЭМ-5389

Лазерные генераторы изображения

Автоматический контроль фотошаблонов

Лазерное устранение дефектов на шаблонах

Фотоповторители

Оборудование для формирования топологических структур на пластинах

Автоматические установки совмещения и экспонирования

Установки совмещения и экспонирования

Контроль полупроводниковых пластин и подложек

Широкоформатные степперы

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроскопия

Оптические компоненты

Медицинская техника

Кардиология

Реанимации и интенсивная терапия

Хирургия, травматология

Физиотерапия, неврология

Прессформы, координатные приводы, датчики

Прессформы

Линейные шаговые двигатели

Шаговые двигатели, преобразователи

Многоканальные лазерные генераторы изображений

Главная › Продукция › Оборудование для формирования топологических структур на фотошаблонах › Многоканальные лазерные генераторы изображений

Генераторы изображений относятся к числу самых сложных устройств в производстве фотошаблонов. Высокие требования к такому оборудованию могут быть выполнены только с помощью самых современных технологий.
УП “КБТЭМ-ОМО” имеет большой опыт в разработке такого оборудования. Здесь представлен модельный ряд многоканальных лазерных генераторов изображений для микроэлектроники, построенных по принципу растрового сканирования

Выпуск с 2009г.	7 поколение: уровень технологии 90 нм	ЭМ-5389 Rmin=200 нм
Выпуск с 2008г.	6 поколение: уровень технологии 180 нм	ЭМ-5289 Rmin=350 нм
Выпуск с 2005г.	5 поколение: уровень технологии 350 нм	ЭМ-5189 Rmin=600 нм
Выпуск с 1999г.	4 поколение: уровень технологии 500 нм	ЭМ-5089Б Rmin=800 нм
Выпуск с 1994г.	3 поколение: уровень технологии 1.0 мкм	ЭМ-5089А Rmin=1.0 мкм
Выпуск с 1988г.	2 поколение: уровень технологии 1.5 мкм	ЭМ-5089 Rmin=1.5 мкм
Выпуск с 1988г.	1 поколение: уровень технологии 2.0 мкм	ЭМ-589Б Rmin=2.0 мкм

ЭМ-5189

Многоканальный сканирующий лазерный генератор изображений предназначен для изготовления фотошаблонов при производстве БИС, СБИС; минимальный размер элемента 600 нм
Генератор предназначен для формирования топологических структур на металлизированных фотошаблонах при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.
Изображение формируется по принципу растрового сканирования.
В системе экспонирования используется непрерывный ультрафиолетовый аргоновый (криптоновый) ионный лазер с длиной волны 350.7 нм.
Мощность лазера 300мВт. Модель SP-2060 (SP-2060/65) фирмы Spectra Phisics.

ЭМ-5289

Генератор предназначен для изготовления металлизированных фотошаблонов при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.
Генератор предназначен для изготовления металлизированных фотошаблонов при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.
Изображение формируется по принципу растрового сканирования. В системе экспонирования используется непрерывный ультрафиолетовый аргоновый ионный лазер с длиной волны 257,2нм. Мощность лазера 1000мВт. Модель Innova Sobre MotoFred фирмы Coherent.

ЭМ-5389

Генератор предназначен для изготовления металлизированных фотошаблонов при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники
Генератор предназначен для изготовления металлизированных фотошаблонов при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.
Изображение формируется по принципу растрового сканирования. В системе экспонирования используется непрерывный ультрафиолетовый аргоновый ионный лазер с длиной волны 257,2нм. Мощность лазера 1000мВт. Модель Innova Sobre MotoFred фирмы Coherent

English version

Государственное научно-производственное объединение точного машиностроения «Планар»

Дизайн и
программирование