Генератор ЭМ-5009М предназначен для изготовления эмульсионных фотошаблонов при производстве интегральных схем, полупроводниковых приборов, гибридных схем, ЖК- индикаторов и экранов, как в производственных, так и в научно-исследо-вательских и учебных целях. Изображение формируется по принципу микрофотонабора. В системе экспонирования генератора используется осветитель на базе двух импульсных ламп.
Технические характеристики
Размеры наборного элемента
4 ... 1500 мкм
Производительность (на регулярных структурах)
0.2 млн. экспоз/ч
Размер поля экспонирования
153x153 мм
Дискретность перемещений координатного стола
250 нм
Погрешность позиционирования координатного стола
± 250 нм
Масштаб проекционного уменьшения
1:20
Дискретность изменения размеров наборного элемента
