 |
Установка лазерного устранения дефектов промежуточных шаблонов ЭМ-5001Б
Установка предназначена для ремонта фотошаблонов, имеющих как прозрачные, так и непрозрачные дефекты: островки, проколы, выступы, вырывы, перемычки между элементами, разрывы элементов, скругления углов, уходы размеров и т. д. Ретушь дефектов осуществляется посредством лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения из газообразной фазы. В качестве источника излучения используется непрерывный аргоновый лазер.
Непрозрачные дефекты устраняются путем испарения остатков хрома при помощи импульсного лазера.
Краткое описание Установка имеет возможность осуществлять ремонт шаблонов с различными типами маскирующих покрытий: хром, окись хрома, окись железа, имеющими следующие размеры по стандарту SEMI:
4” x 4” (102 x 102) мм
5” x 5” (127 x 127) мм
6” x 6” (153 x 153) мм
7” x 7” (178 x 178) мм
Для устранения непрозрачных дефектов используется контурно-проекционный метод формирования оптического изображения, состоящий в том, что изображение синтезируется в результате последовательного обхода по контуру лазерным лучом специального сечения, которое представляет собой микропроекцию простого элемента, например, квадрата.
Для ремонта прозрачных дефектов используется метод лазерностимулированного осаждения металлоорганического соединения.
Выход в зону дефекта осуществляется автоматически по информации, полученной от установок контроля топологии шаблонов (типа ЭМ-6029Б или аналогичной).
Технические характеристики
 |
| Минимальный диаметр устраняемых дефектов |
|
|
| - прозрачных |
0.5 мкм |
|
| - непрозрачных |
0.5 мкм |
|
| Размер рабочего поля |
160x160 мм |
|
| Разворот исправляемого участка |
-45 ... +45° |
|
| Точность наведения луча лазера на непрозрачный исправляемый участок |
200 нм |
|
| Дискретность задания размеров ремонтируемого непрозрачного участка |
100 нм |
|
| Электропитание и потребляемая мощность |
230В, 50Гц, 6 кВт |
|
| Масса установки |
1700 кг |
| |
|
|
