 |
Установка визуального контроля и автоматической маркировки кристаллов на пластинах МК-АМ
Установка предназначена для визуального, с использованием микроскопа, контроля кристаллов микросхем с целью распознавания дефектных кристаллов на пластинах с последующей маркировкой их в автоматическом режиме
Основные технические характеристики
| Размер обрабатываемых пластин, мм |
100; 150; 200 |
| Увеличение микроскопа, крат |
100; 200; 500 |
| Предметный стол автоматизированный: |
|
| - ход стола по координатам X,Y, мм, не менее |
283x204 |
| - погрешность перемещения, мм |
±0.03 |
| - дискретность перемещения, мм |
0.005 |
| - скорость перемещения, мм/с |
0.5 ... 40 |
| Размер контролируемых дефектов, мкм, мин |
0.8 |
| Смещение маркировочного пятна относительно центра кристалла, мм, не менее |
0.2 |
| Потребляемая мощность, Вт |
500 |
| Электропитание |
~ 220В, 50Гц |
| Габариты, мм |
1300x1200x1400 |
| Масса, кг |
150 |
|
|
