Главная   Карта сайта   Контакт   Обратная связь   Полезные ссылки  
Об объединении Продукция Услуги Разработки Поддержка


Оборудование для формирования и контроля топологических структур на фотошаблонах

Прецизионные генераторы изображений

Лазерные генераторы изображения

Автоматический контроль фотошаблонов

Контроль фотошаблонов

Лазерное устранение дефектов на шаблонах

Фотоповторители

Оборудование для формирования и контроля топологических структур на полупроводниковых пластинах

Автоматические установки совмещения и экспонирования

Установки совмещения и экспонирования

Контроль полупроводниковых пластин и подложек

Генератор изображений на полупроводниковых пластинах

Широкоформатные степперы

Оборудование подготовки кристаллов к сборке

Зондовый контроль

Утонение пластин

Резка пластин на кристаллы

Кассетирование кристаллов

Сборочное оборудование

Монтаж кристаллов

Монтаж выводов

Cварка пластин
ЭМ-4044

Предзащита ИС

Оборудование лазерной обработки

Микроскопия, оптика

Микроскопия

Оптические компоненты

Медицинская техника

Кардиология

Реанимации и интенсивная терапия

Хирургия, травматология

Физиотерапия, неврология

Прессформы, координатные приводы, датчики

Прессформы

Линейные шаговые двигатели

Шаговые двигатели, преобразователи

Установка диффузионной сварки пластин ЭМ-4044


Установка ЭМ-4044 предназначена для диффузионной сварки c применением боросиликатного стекла полупроводниковых пластин диаметром 76 мм, 100 мм и 150 мм. Позволяет задавать в широком диапазоне и контролировать основные параметры процесса сварки, благодаря чему создается идеальная среда для соединения изделий. Основная область применения: изготовление MEMS, светодиодов и 3D сборок.

Соединяемые материалы и их сочетание при сварке: - «кремний-кремний»;
- «стекло-стекло»;
- «кремний-стекло»;
- «пьезоэлектрики-стекло»;
- «пьезоэлектрик-пьезоэлектрик»
Диаметр соединяемых пластин, мм 76, 100, 150
Толщина соединяемых пластин, мм - 0.15 (для пластин диаметром 76 мм);
- от 0.3 до 1.0 (для пластин диаметром 100, 150 мм)
Количество одновременно соединяемых пластин 2 шт
Диапазон регулирования температуры от плюс 50°С до плюс 500°С
Скорость нагрева рабочей зоны до 30 ˚С/мин
Скорость охлаждения рабочей зоны до 14 ˚С/мин
Равномерность температуры в рабочей зоне ±1,5 %
Остаточное давление (вакуум) в рабочей камере 1.3·10^(-3) Па
Максимальное усилие сжатия пластин при сварке 8 кН
Масса установки не более 350 кг
Электропитание, птребляемая мощность 230 В, 50 Гц, не более 6 кВт
Габаритные размеры: 1350 х 850 х 1600 мм
Открыть в PDF
English version
ПЛАНАР
Открытое акционерное общество «Планар»
Поиск по сайту
 
Выберите модель


Другие модели этого раздела.

© 2003 Планар
e-mail: planar@solo.by

www.redgraphic.com Дизайн и
программирование