 |
Оборудование для формирования топологических структур на фотошаблонах
Главная ›
Продукция ›
Оборудование для формирования топологических структур на фотошаблонах
Разработкой оборудования для производства фотошаблонов для ИС и ГИС специалисты «Планара» начали заниматься в начале 60-х годов. В 1966г. в производство был запущен первый генератор изображений (модель ЭМ-508) использующий метод фотонабора. Эта модель положила начало целому семейству генераторов изображения ЭМ-549, ЭМ-519, ЭМ-559, ЭМ-5009, которое развивалось в направлении повышения производительности, надежности и точности, а также уменьшения размеров элементов. В 1984г. был разработан многолучевой лазерный генератор изображения (модель ЭМ-5089). Комплект оборудования для производства фотошаблонов расширялся за счет включения новых видов оборудования: в 1974г. была разработана установка лазерной ретуши фотошаблонов (модель ЭМ-551), в 1983г. в комплект вошла установка измерения координат эталонных фотошаблонов (модель ЭМ-6009), а в 1990г. – установка автоматического поиска дефектов фотошаблонов (модель ЭМ-6029).
В настоящее время в процессе создания оборудования для производства оригиналов топологии, промежуточных и рабочих шаблонов решена комплексная проблема разработки комплекта оборудования, обеспечивающего бездефектное формирование топологических структур. Из всей гаммы разработанного оборудования можно комплексировать различные системы, предназначенные для производства приборов широкого спектра сложности - от СБИС, спроектированных с субмикронными проектными нормами, до гибридных интегральных схем, полупроводниковых приборов, печатных плат, масок кинескопов и ЖКИ. Существенным фактором при этом является возможность оптимизации стоимости оборудования в зависимости от сложности производимых приборов.
|
|
