Разработки

В настоящее время ГНПО «Планар» ведутся разработки следующего оборудования:

   Сканирующий зондовый микроскоп СЗМ-200, предназначенный для  контроля субмикронных элементов в микроэлектронике

Малогабаритный инвертированный микроскоп МИ-2:
    - увеличение 50 - 1000 крат;
    - светлое поле;
    - поляризационный контраст;
    - дифференциальный интерференционный контраст по Номарскому;
    - режим видеонаблюдения;
   - ход предметного стола по координатам X, Y - 60х40 мм.

       Микроскопы автоматизированные серии МА 200:
      - увеличение 50 - 1000 крат;
      - светлое/темное поля;
      - поляризационный контраст;
      - автоматизированное программно задаваемое перемещение       предметного стола по координатам X, Y -             200х200 мм (погрешность позиционирования по координатам X, Y ±3 мкм);
      - автофокусировка (дискретность перемещения 0.1 мкм)
      - функция автоматизированной загрузки полупроводниковых пластин на предметный стол микроскопа с   возможностью макроконтроля поверхности пластины;
      - функция контроля и маркировки кристаллов полупроводниковых пластин.